安徽光智科技有限公司许军获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利液相外延取片铲获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223292704U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422466920.4,技术领域涉及:C30B19/00;该实用新型液相外延取片铲是由许军;赵倩设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本液相外延取片铲在说明书摘要公布了:本申请提供了一种液相外延取片铲,涉及半导体材料制备技术领域。液相外延取片铲包括承载铲和透明铲,承载铲包括承载铲柄和承载铲托,透明铲包括透明铲柄和透明铲托,承载铲托相对的两侧分别设有一个挡板,透明铲托相对的两侧分别转动连接在两个挡板上;液相外延取片铲具有依序的准备过程和观察过程,在准备过程中将外延片放置于透明铲托上并使外延片背面与透明铲托贴合,在观察过程中透明铲柄向承载铲柄运动,透明铲托远离透明铲柄的一端会翘起,使透明铲托与承载铲托之间形成观察空间,以供用户透过透明铲托观察外延片背面是否有母液残留。基于此,本申请在观察外延片背面是否有母液残留时,可降低外延片被划伤及摔落的风险。
本实用新型液相外延取片铲在权利要求书中公布了:1.一种液相外延取片铲,其特征在于,包括承载铲和透明铲,所述承载铲包括承载铲柄及自所述承载铲柄的一端倾斜延伸的承载铲托,所述透明铲包括透明铲柄及自所述透明铲柄的一端倾斜延伸的透明铲托,所述承载铲托相对的两侧分别设置有一个挡板,所述挡板的长度方向与所述承载铲托的延伸方向一致,所述透明铲托相对的两侧分别转动连接在两个所述挡板上,所述挡板上与所述透明铲托转动连接的位置靠近所述承载铲柄,所述透明铲托上与所述挡板转动连接的位置靠近所述透明铲柄,所述液相外延取片铲的工作过程包括依序进行的准备过程和观察过程,其中: 所述承载铲托,用于在所述准备过程中与所述透明铲托相贴合; 所述透明铲托,用于在所述准备过程和所述观察过程中承载待观察的外延片,且所述外延片未生长外延层的背面与所述透明铲托相贴合; 所述透明铲柄,用于在所述观察过程中于外力作用下向所述承载铲柄运动,以将所述透明铲托远离所述透明铲柄的一端翘起,使得所述透明铲托与所述承载铲托之间形成观察空间,所述观察空间用于供用户透过所述透明铲托观察所述外延片的背面是否存在母液残留。
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