宸微设备科技(苏州)有限公司李军获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利调节装置以及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296798U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422484645.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型调节装置以及半导体设备是由李军设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本调节装置以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种调节装置以及半导体设备，调节装置用于调节基座的位置，所述基座包括：晶圆承载盘，用于设置在腔体中；承托部，位于所述晶圆承载盘的底部，且所述承托部贯穿所述腔体底部；所述调节装置包括：升降单元，与所述承托部的底部连接，用于使所述晶圆承载盘上升或下降；水平单元，用于与所述基座的承托部连接，用于调节所述晶圆承载盘的水平位置。调节装置中升降单元与承托部的底部连接，在采用调节装置调节基座位置时，通过升降单元调节所述晶圆承载盘在腔体中的竖直位置，调节装置的水平单元与承托部连接，通过水平单元调节晶圆承载盘的水平位置。
本实用新型调节装置以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种调节装置，用于调节基座的位置，其特征在于，所述基座包括：晶圆承载盘，用于设置在腔体中；承托部，位于所述晶圆承载盘的底部，且所述承托部贯穿所述腔体底部； 所述调节装置包括： 升降单元，输出端用于与所述承托部的底部连接，用于使所述晶圆承载盘上升或下降，所述升降单元包括：电机，所述电机包括输出轴；丝杠，与所述电机的输出轴固定连接；转动件，位于所述丝杠上，用于与丝杠进行转动配合，在丝杠转动时所述转动件进行竖直方向的移动；连接座，与所述转动件固定，且用于与承托部固定连接； 水平单元，用于与所述基座的承托部连接，用于调节所述晶圆承载盘的水平位置，所述水平单元，位于所述腔体底部，所述水平单元包括：底座，设置在所述腔体的底部，所述底座具有贯通孔，供所述承托部贯穿，且所述贯通孔与所述承托部的侧壁接触；多个调平结构，间隔设置在所述底座上，且与所述调平结构与所述腔体的底部抵接，用于调节所述基座的水平位置。
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