常州承芯半导体有限公司夏恩波获国家专利权
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龙图腾网获悉常州承芯半导体有限公司申请的专利晶圆盒检验治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223295638U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422483822.1,技术领域涉及:G01M13/00;该实用新型晶圆盒检验治具是由夏恩波;潘克成;赵厚票;胡民力设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒检验治具在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆盒检验治具,晶圆盒内具有容纳腔,容纳腔的内表面具有若干齿槽,用于容纳多个晶圆,包括:底座;位于底座上的定位组件,定位组件用于定位晶圆盒;与底座滑动连接的至少一个推杆组件,推杆组件包括与多个晶圆对应设置的多个检验槽,检验槽的开口朝向定位组件且多个检验槽沿着垂直于底座的方向平行分布,推杆组件用于滑动至晶圆盒的位置以通过晶圆与推杆组件的相对位置来检验晶圆盒,晶圆与推杆组件的相对位置包括晶圆的边缘位于对应的检验槽内或者晶圆位于相邻检验槽之间;实现对晶圆盒质量的检查,操作简单、效率高,解决由于晶圆盒异常造成晶圆报废的问题,具有较广泛的适用范围。
本实用新型晶圆盒检验治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒检验治具,所述晶圆盒内具有容纳腔,所述容纳腔的内表面具有若干齿槽,用于容纳多个晶圆,其特征在于,包括: 底座; 位于所述底座上的定位组件,所述定位组件用于定位所述晶圆盒; 与所述底座滑动连接的至少一个推杆组件,所述推杆组件包括与多个所述晶圆对应设置的多个检验槽,所述检验槽的开口朝向所述定位组件且多个所述检验槽沿着垂直于底座的方向平行分布,所述推杆组件用于滑动至所述晶圆盒的位置以通过所述晶圆与所述推杆组件的相对位置来检验所述晶圆盒,所述晶圆与所述推杆组件的相对位置包括所述晶圆的边缘位于对应的所述检验槽内或者所述晶圆位于相邻所述检验槽之间。
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