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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种辅助手动上下片治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223292625U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422585527.7，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种辅助手动上下片治具是由杨福满;庞才伟;杨洪生;朱新华;张晓军;黎佐兴;袁明;肖荣锋;冯琳设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种辅助手动上下片治具在说明书摘要公布了：本申请提供了一种辅助手动上下片治具，属于半导体生产设备技术领域，包括：第一治具部分，所述第一治具部分包括握持部、第一定位部和夹持部；第二治具部分，所述第二治具部分设置于磁控溅射设备的进出片腔体，所述第二治具部分包括支撑部和第二定位部；在所述第一定位结构和所述第二定位结构对正接合的情况下，所述夹持部位于玻璃基片沿所述第一方向的两侧，且所述承托平台低于玻璃基片，所述夹持部能够相向移动使得所述承托平台位于玻璃基片的下方，进行玻璃基片的抓取。本申请的辅助手动上下片治具可以辅助进行玻璃基片的上料和下料，避免人手接触玻璃基片，可以有效解决人手接触导致的问题。

本实用新型一种辅助手动上下片治具在权利要求书中公布了：1.一种辅助手动上下片治具，其特征在于，包括： 第一治具部分，所述第一治具部分包括握持部、第一定位部和夹持部，所述握持部连接于所述第一治具部分的上端，所述第一定位部向下设置第一定位结构，所述夹持部成对地设置于所述第一治具部分沿第一方向的两侧，两侧的所述夹持部的相向端凸出设置承托平台，所述承托平台的上端与所述第一治具部分之间形成基片承托空间，所述夹持部能够沿所述第一方向相向移动调节； 第二治具部分，所述第二治具部分设置于磁控溅射设备的进出片腔体，所述第二治具部分包括支撑部和第二定位部，所述支撑部用于支撑玻璃基片，并使玻璃基片沿所述第一方向的两侧悬空，所述第二定位部向上设置第二定位结构，所述第二定位结构与所述第一定位结构相互匹配； 其中，在所述第一定位结构和所述第二定位结构对正接合的情况下，所述夹持部位于玻璃基片沿所述第一方向的两侧，且所述承托平台低于玻璃基片，所述夹持部能够相向移动使得所述承托平台位于玻璃基片的下方，进行玻璃基片的抓取。

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