海目星激光科技集团股份有限公司王国安获国家专利权
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龙图腾网获悉海目星激光科技集团股份有限公司申请的专利一种晶粒载板安装治具及激光键合设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223296797U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422614698.8,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶粒载板安装治具及激光键合设备是由王国安;汤奇烨;曾劲帆;何应江设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶粒载板安装治具及激光键合设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶粒载板安装治具及激光键合设备,由于支架上设置有通孔,吸附板覆盖于通孔处,吸附板能够从通孔处露出,且吸附板上设置有若干吸附孔,各吸附孔能够将晶粒载板吸附在吸附板上,由于光路调节件的输出端朝向吸附板,且吸附板为透光板,通过将光路调节件对准晶粒,激光透过吸附板到达晶粒处,使得晶粒键合在载板上。整个吸附板可以透过激光,便于进行大面积键合,且吸附板直接吸附载板,可以加工面积更大的载板,且可加工区域的面积大大提升,提升了加工效率。且后续压合过程中,吸附板可以均匀顶着载板上每颗晶粒,保证受压后载板的平面度。
本实用新型一种晶粒载板安装治具及激光键合设备在权利要求书中公布了:1.一种晶粒载板安装治具,其特征在于:包括支架、吸附板,所述支架上设置有通孔,所述吸附板覆盖于所述通孔处,所述吸附板为透光板,所述吸附板上设置有若干吸附孔,各所述吸附孔均用于吸附晶粒载板。
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