北京怀柔实验室金锐获国家专利权
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龙图腾网获悉北京怀柔实验室申请的专利MOSFET器件的元胞结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120302690B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510775873.8,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权MOSFET器件的元胞结构及其制备方法是由金锐;李翠;聂瑞芬;和峰;孙琬茹;葛欢;李哲洋;崔翔设计研发完成,并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本MOSFET器件的元胞结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种MOSFET器件的元胞结构及其制备方法,包括:衬底,衬底包括相对的第一表面和第二表面;外延层,位于第一表面上,外延层远离衬底的表面为第三表面,外延层与衬底的掺杂类型相同;元胞区,位于外延层靠近第三表面的部分,元胞区包括源极结构和栅极结构,在第一方向上,源极结构和栅极结构呈非直线型,在第二方向上,源极结构与栅极结构交替排布,第一方向和第二方向分别与衬底的厚度方向垂直。改善了现有技术中MOSFET器件的导通特性和短路特性需要折中优化的技术问题。
本发明授权MOSFET器件的元胞结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种MOSFET器件的元胞结构,其特征在于,包括: 衬底,所述衬底包括相对的第一表面和第二表面; 外延层,位于所述第一表面上,所述外延层远离所述衬底的表面为第三表面,所述外延层与所述衬底的掺杂类型相同; 元胞区,位于外延层靠近所述第三表面的部分,所述元胞区包括源极结构和栅极结构,在第一方向上,所述源极结构和栅极结构呈非直线型,在第二方向上,所述源极结构与所述栅极结构交替排布,所述第一方向和所述第二方向分别与所述衬底的厚度方向垂直, 所述栅极结构在所述第二表面上的正投影包括第一宽部和第一窄部,所述源极结构在所述第二表面上的正投影包括第二宽部和第二窄部,所述第一宽部和所述第一窄部在所述第一方向上交替排布,所述第二宽部和所述第二窄部在所述第一方向上交替排布,所述第一宽部和所述第二窄部在第二方向上交替排布,所述第二宽部和所述第一窄部在所述第二方向上交替排布, 所述元胞区还包括: 第一掺杂区,位于所述栅极结构靠近所述衬底的一侧,并且所述第一掺杂区在所述衬底上的投影与所述第一宽部交叠,所述第一掺杂区的掺杂类型与所述衬底的掺杂类型不同; 第二掺杂区,位于所述源极结构靠近所述衬底的一侧,并且所述第二掺杂区在所述衬底上的投影与所述第二宽部交叠,所述第一掺杂区的掺杂类型与所述衬底的掺杂类型不同。
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