杭州开幕光子技术有限公司;浙江老鹰半导体技术有限公司傅攀获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州开幕光子技术有限公司;浙江老鹰半导体技术有限公司申请的专利表面发射激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120341695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510804221.2,技术领域涉及:H01S5/20;该发明授权表面发射激光器及其制备方法是由傅攀;张杨;袁江缘;王立设计研发完成,并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本表面发射激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请实施例涉及一种表面发射激光器及其制备方法。该表面发射激光器,包括衬底和设于衬底上的谐振腔结构;谐振腔结构包括依次位于衬底上的第一反射镜层、有源层、和第二反射镜层;第二反射镜层中形成有光电限制层,光电限制层为多边形环状结构,且光电限制层内环包括至少三个内角;以及第二反射镜层中还包括倾斜柱体的非离子注入区域,倾斜柱体的非离子注入区域与光电限制层内环的至少三个内角中的至少一个内角不重合;第二反射镜层中,倾斜柱体的非离子注入区域外的区域为离子注入区域。本申请通过在第二反射镜层中形成倾斜柱体的非离子注入区域;使得对应光电限制层的电流集中情况被破坏,提高器件的反向耐击穿电压能力。
本发明授权表面发射激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种表面发射激光器,其特征在于,包括衬底和设于衬底上的谐振腔结构; 所述谐振腔结构包括依次位于所述衬底上的第一反射镜层、有源层、和第二反射镜层; 所述第二反射镜层中形成有光电限制层,所述光电限制层为多边形环状结构,且所述光电限制层内环包括至少三个内角;以及 所述第二反射镜层中还包括倾斜柱体的非离子注入区域,所述倾斜柱体的非离子注入区域与所述光电限制层内环的至少三个内角中的至少一个内角不重合; 所述第二反射镜层中,所述倾斜柱体的非离子注入区域外的区域为离子注入区域。
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