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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种外延生长系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120330883B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510826656.7，技术领域涉及：C30B25/16；该发明授权一种外延生长系统及方法是由盛飞龙;郭嘉杰;伍三忠;王鑫;徐俊;刘欣设计研发完成，并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外延生长系统及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种外延生长系统及方法，该系统包括：上半月石墨腔体；下半月石墨腔体；载盘；第一温度测量组件；反应气体进气组件；多个排气组件；控制器，用于在外延生长过程中，根据实际温度信息和预设的目标温度分析是否存在温度异常的测温区域，还用于在存在温度异常的测温区域时，根据实际温度信息和目标温度的偏差值获取进气调节量，然后根据进气调节量调节该温度异常的测温区域对应的进气单元的进气量，并根据温度异常的测温区域与各个排气组件的最小距离调节各个排气组件的排气比例；该系统能够在反应腔内的气体流场均匀性不受影响的情况下使反应腔内的温场分布均匀。

本发明授权一种外延生长系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种外延生长系统，其特征在于，所述外延生长系统包括： 上半月石墨腔体； 下半月石墨腔体，与所述上半月石墨腔体组成反应腔，所述反应腔被水平划分成多个测温区域； 载盘，位于所述反应腔内，用于承载外延片； 第一温度测量组件，设置在所述反应腔外，用于测量各个所述测温区域对应的实际温度信息； 反应气体进气组件，设置在所述上半月石墨腔体上，其包括多个进气单元，每个所述测温区域均对应于至少一个竖直向下出气的进气单元； 多个排气组件，对称设置在所述反应腔两侧； 控制器，用于在外延生长过程中，控制所述反应气体进气组件向所述反应腔供应反应气体和控制所有所述排气组件同步排气，并根据所述实际温度信息和预设的目标温度分析是否存在温度异常的测温区域，还用于在存在温度异常的测温区域时，根据所述实际温度信息和所述目标温度的偏差值获取进气调节量，然后根据所述进气调节量调节该温度异常的测温区域对应的进气单元的进气量，并根据温度异常的测温区域与各个所述排气组件的最小距离调节各个所述排气组件的排气比例。

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