杭州开幕光子技术有限公司;浙江老鹰半导体技术有限公司傅攀获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州开幕光子技术有限公司;浙江老鹰半导体技术有限公司申请的专利垂直腔面发射激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120357272B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510846991.3,技术领域涉及:H01S5/183;该发明授权垂直腔面发射激光器及其制备方法是由傅攀;张杨;袁江缘;王立设计研发完成,并于2025-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本垂直腔面发射激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请实施例涉及一种垂直腔面发射激光器及其制备方法。该垂直腔面发射激光器,包括衬底和设于衬底上的谐振腔结构;所述谐振腔结构包括底部反射镜结构、有源层、光电限制层和顶部反射镜结构;所述光电限制层设有用于限定所述垂直腔面发射激光器发光区域的光电限制图案;所述光电限制图案在所述衬底上的投影形状至少包括一电流集中区域;以及离子注入区域,至少形成并覆盖所述电流集中区域,所述离子注入区域被配置为钝化所述电流集中区域。本申请通过在电流集中区域进行离子注入形成离子注入区域,将电流集中区域进行钝化,提高器件的反向耐击穿能力。
本发明授权垂直腔面发射激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种垂直腔面发射激光器,其特征在于,包括衬底和设于衬底上的谐振腔结构; 所述谐振腔结构包括底部反射镜结构、有源层、光电限制层和顶部反射镜结构;所述光电限制层设有用于限定所述垂直腔面发射激光器发光区域的光电限制图案;所述光电限制图案在所述衬底上的投影形状至少包括一电流集中区域;以及 离子注入区域,至少形成并覆盖所述电流集中区域,所述离子注入区域被配置为钝化所述电流集中区域。
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