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龙图腾网获悉亦亨电子(上海)有限公司申请的专利一种物理气相沉积靶材更换装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120400763B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510905022.0，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权一种物理气相沉积靶材更换装置是由孙晓光;贾鹏宽;王杰;杨志翔设计研发完成，并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种物理气相沉积靶材更换装置在说明书摘要公布了：本发明涉及焊接技术领域，具体是一种物理气相沉积靶材更换装置，包括设备基台、靶材装载单元、靶材迁移单元及输出轨道。设备基台设装载腔口，装载单元的承载台体升降式安装于基台底部，穿过腔口外露，输出轨道架设于腔口侧沿。迁移单元含双迁移轨道，两侧定位架同步滑动，各载夹持机件相对布置；第二定位架通过延伸顶架搭载惰性气体补充器。装置通过伺服电机与同步带实现自动化迁移，升降与定位精度协同确保靶材安装误差，缩短更换周期及工艺调试时间。全程在基台内完成，减少人员接触风险，结合惰性气体保护技术，提升生产效率与工艺稳定性。

本发明授权一种物理气相沉积靶材更换装置在权利要求书中公布了：1.一种物理气相沉积靶材更换装置，包括设备基台（1）、靶材装载单元（2）、靶材迁移单元（3）和靶材输出轨道（4），其特征在于： 所述设备基台（1）的台面开设有装载腔口（11），所述靶材装载单元（2）包含承载基座（21）及设置于所述承载基座（21）顶部的承载台体（22）；其中， 所述承载台体（22）通过升降驱动机构呈可升降式安装于所述承载基座（21）上方，其台面经所述装载腔口（11）贯穿所述设备基台（1）台面形成外露工作位，所述靶材输出轨道（4）架设于所述装载腔口（11）的台面边缘，且其输送端面与所述承载台体（22）的台面保持共面衔接； 所述靶材迁移单元（3）包含平行设置于所述装载腔口（11）两侧的迁移轨道（31），第一定位架（32）和第二定位架（33）分别通过滑移机构对称安装于两侧迁移轨道（31）并构成同步位移配合，各定位架均配置有朝向装载腔口（11）轴线方向设置的夹持机件（34）； 所述第二定位架（33）顶部延伸设置有延伸顶架（35），所述延伸顶架（35）的悬臂端装配有惰性气体补充器（36），其喷气端口朝向靶材装载单元（2）的工作区域设置。

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