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龙图腾网获悉苏州赛腾精密电子股份有限公司申请的专利晶圆分片移动在线检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120453202B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510918310.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆分片移动在线检测装置是由孙丰;田斌设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆分片移动在线检测装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆分片移动在线检测装置，包括：放置机构；取片机构，包括吸取组件、第一驱动件、第一吹气口、第二吹气口和移动组件，吸取组件的吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于竖直方向的放置位置；第一驱动件与吸取组件相连；第一吹气口的形状为圆形，第二吹气口的形状为扁长形；移动组件与吸取组件相连；沿第一方向延伸且移动方向相同、移动速度相等的第一传送部和第二传送部，第一传送部和第二传送部之间具有预定长度的间隙；吸取组件位于第一传送部的上方；分别固定设置在间隙上方和下方的两个相机；分别设置在间隙上方和下方的第一光源和第二光源。该晶圆分片移动在线检测装置能实现无遮挡的检测，并且能实现快速取片。

本发明授权晶圆分片移动在线检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆分片移动在线检测装置，其特征在于，包括： 用于放置晶圆的放置机构，所述放置机构内的晶圆表面垂直于第一方向； 用于吸取晶圆的取片机构，包括吸取组件、第一驱动件、第一吹气口、第二吹气口和移动组件，所述吸取组件具有平行于晶圆表面的吸取平面，所述吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于竖直方向的放置位置；所述第一驱动件与所述吸取组件相连，用于驱动所述吸取组件绕第二方向延伸的旋转轴旋转，使所述吸取平面在所述吸取位置和放置位置之间切换；所述第一方向、第二方向和竖直方向两两相互垂直；所述第一吹气口和第二吹气口在第二方向上分别连接于所述吸取组件的两侧；所述第一吹气口的形状为圆形，所述第二吹气口的形状为扁长形；所述移动组件与所述吸取组件相连，用于驱动所述吸取组件在所述第一方向和竖直方向上移动； 沿第一方向延伸且移动方向相同、移动速度相等的第一传送部和第二传送部，所述第一传送部和第二传送部之间具有预定长度的间隙；所述预定长度小于所述晶圆的半径；所述第一传送部位于所述放置机构和第二传送部之间；所述吸取组件位于所述第一传送部的上方； 分别固定设置在所述间隙上方和下方的两个相机； 分别设置在所述间隙上方和下方的第一光源和第二光源。

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