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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种半导体晶圆化学清洗夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120413510B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510914920.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种半导体晶圆化学清洗夹具是由华斌;陈焱;任广相设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆化学清洗夹具在说明书摘要公布了：本发明涉及清洗夹具技术领域，公开了一种半导体晶圆化学清洗夹具，包括第一板，用于放置承载晶圆，第二板，其设置于第一板上，通过第二板便于使用人员移动第一板和晶圆，限位组件，其设置于第一板上，用于限制第一板上晶圆的位置，限位组件的内部设置有调节单元。本发明通过限位组件能够对直径大小不同的晶圆进行位置限定，然后通过夹持组件中的导轮抵住晶圆的外表面，使晶圆被顶在导轮、第一圆柱和两个第二圆柱之间，通过本装置可以将被限位的晶圆夹持固定，确保了晶圆在清洗时不会因晃动而滑落摔坏。

本发明授权一种半导体晶圆化学清洗夹具在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆化学清洗夹具，其特征在于，包括： 第一板（1），用于放置承载晶圆（3）； 第二板（2），其设置于第一板（1）上，通过第二板（2）便于使用人员移动第一板（1）和晶圆（3）； 限位组件，其设置于第一板（1）上，用于限制第一板（1）上晶圆（3）的位置，限位组件的内部设置有调节单元，调节单元被设置为当晶圆（3）的直径大小不同时，能够调节限位组件中至少一个部件的位置，使限位组件能够对直径大小不同的晶圆（3）进行位置限定，所述限位组件包括： 两块第三板（4），两块第三板（4）对称设置于第一板（1）的上表面并相互垂直设置，两块第三板（4）与第一板（1）的上表面之间均设置有第一腔（401），晶圆（3）设置于第一腔（401）的内部，通过第一腔（401）限制晶圆（3）的轴向移动； 第一圆柱（7），其设置于第一板（1）上，用于限制晶圆（3）其中一个直径方向的移动； 两个第二圆柱（9），其对称设置于第一板（1）上且分别位于两个第一腔（401）内，用于限制晶圆（3）另两个直径方向的移动，第一圆柱（7）设置于两个第二圆柱（9）之间，第一圆柱（7）和两个第二圆柱（9）形成三角形结构，晶圆（3）设置于第一圆柱（7）和两个第二圆柱（9）之间，能够对晶圆（3）的直径方向进行位置限定； 夹持组件，其设置于第二板（2）上，与限位组件配合使用，当限位组件将晶圆（3）的位置限定后通过夹持组件对晶圆（3）进行夹持固定，夹持组件的内部设置有自适应单元，自适应单元被设置为当晶圆（3）的直径大小不同时，能够调节夹持组件的夹持力，使得晶圆（3）不会被过度夹持而损坏，所述夹持组件包括： 滑套（11），其设置于第二板（2）上，用于带动夹持组件内至少一个部件沿着第二板（2）的轴向移动，滑套（11）的外表面螺纹连接有锁紧螺栓（12），能够对第二板（2）上滑套（11）的位置进行锁紧固定，第二板（2）上的外表面开设有多个刻度标（202），用于精确定位滑套（11）在第二板（2）的轴向移动位置，滑套（11）的内部设置有空腔，滑套（11）的外表面对称贯穿开设有第四通槽（1101）； 导轮（14），其设置于滑套（11）的空腔内部，导轮（14）被设置为当滑套（11）沿着第二板（2）的轴向向着晶圆（3）移动时，能带动导轮（14）与晶圆（3）的圆周外表面相抵，使晶圆（3）被夹持在导轮（14）、第一圆柱（7）和两个第二圆柱（9）之间，第四通槽（1101）的内壁之间滑动安装有连接板（16），连接板（16）的两端均贯穿第四通槽（1101）固定安装有支板（15），导轮（14）转动安装于两个支板（15）之间； 所述自适应单元包括： 支架（17），其设置于滑套（11）的空腔内部，用于承载安装至少一个自适应单元部件，支架（17）的内部开设有凹槽（1703）； 第一块（19），其设置于凹槽（1703）的内部，第一块（19）的一端固定连接有第二弹簧（18），第二弹簧（18）的另一端与连接板（16）的外表面固定连接，第一块（19）被设置为当其沿着凹槽（1703）的轴向进行移动时，能够调整第二弹簧（18）在第一块（19）和连接板（16）之间的预压缩力，第一块（19）的另一端对称开设有两个第一斜角（1902）； 两个第二块（20），其设置于支架（17）上，两个第二块（20）相邻的一端均开设有第二斜角（2001），第二斜角（2001）与第一斜角（1902）相抵，两个第二块（20）被设置为当其受到外力挤压时，第二块（20）通过第二斜角（2001）与第一斜角（1902）的配合，带动第一块（19）沿着凹槽（1703）的轴向向着导轮（14）移动。

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