深圳市道格特科技有限公司黎华盛获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市道格特科技有限公司申请的专利探针检测方法、装置和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120405547B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510912335.9,技术领域涉及:G01R35/00;该发明授权探针检测方法、装置和存储介质是由黎华盛;黄志锋;张冀阳设计研发完成,并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针检测方法、装置和存储介质在说明书摘要公布了:本发明属于半导体测试领域,提供一种探针检测方法、装置和存储介质。通过软件获取坐标测量要素并建立初始坐标系,进一步建立针头子坐标系和针尖子坐标系,生成第一根探针测试程序,再基于探针间步距进行平移复制以获得多探针测试程序,汇总形成整体测试程序并自动运行,结合数据分析完成不符合标准的探针筛选。该方法克服了传统人工测量主观性强、效率低且易损伤探针的问题,实现快速、准确的自动检测和探针筛选,显著提高生产效率并降低人工成本和风险。
本发明授权探针检测方法、装置和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种探针检测方法,其特征在于,在定制治具上设有多个网格,所述探针均匀放置于各网格内,探针包括针头和针尖,所述方法包括以下步骤: 根据软件上的坐标测量要素和所述定制治具规格,建立初始坐标系,确定第一根探针在所述定制治具上的位置坐标; 根据所述第一根探针的针头位置和针尖位置,分别建立针头子坐标系和针尖子坐标系; 根据所述针头子坐标系和所述针尖子坐标系,生成所述第一根探针的测试程序; 根据所述第一根探针与其它探针之间的步距,确定所述第一根探针与各其它探针之间的平移量,并基于所述平移量对所述第一根探针的测试程序进行平移复制,得到各个其它探针的测试程序; 根据各探针的测试程序,生成所有探针的整体测试程序; 根据所述整体测试程序运行测试,筛选出不符合标准的探针; 所述坐标测量要素包括起始点和坐标轴补正要素,所述根据软件上的坐标测量要素和所述定制治具规格,建立初始坐标系,确定第一根探针在所述定制治具上的位置坐标,包括: 选取定制治具的四个顶点中任一点作为第一起始点,与该点横向或纵向对应的顶点作为第二起始点; 根据所述第一起始点和所述第二起始点,确定初始方向轴; 基于所述初始方向轴进行坐标轴补正,建立初始坐标系; 根据所述第一根探针在所述初始坐标系中的位置,确定所述第一根探针的位置坐标; 所述针头包括针头末端点和针头起始端点,所述针尖包括针尖末端点和针尖起始端点,所述根据所述第一根探针的针头位置和针尖位置,分别建立针头子坐标系和针尖子坐标系,包括: 根据所述第一根探针的位置坐标,确定所述第一根探针的针头末端点位置和针尖末端点位置; 以所述针头末端点位置为原点,建立针头子坐标系; 以所述针尖末端点位置为原点,建立针尖子坐标系; 所述根据所述针头子坐标系和所述针尖子坐标系,生成所述第一根探针的测试程序,包括: 根据所述针头子坐标系和所述针尖子坐标系,获取探针坐标信息; 根据所述探针坐标信息,计算探针参数信息; 根据所述探针参数信息以及所述针头子坐标系和所述针尖子坐标系,生成所述第一根探针的测试程序。
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