中科芯微智能装备(沈阳)有限公司常志勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利一种真空机械手臂获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120395789B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510912225.2,技术领域涉及:B25J9/04;该发明授权一种真空机械手臂是由常志勇;董宏达;侯双明;孟君燕设计研发完成,并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空机械手臂在说明书摘要公布了:本发明公开了一种真空机械手臂,涉及半导体晶圆传递设备技术领域,包括扭矩传递机构,其包括:至少两个带轮,带轮具有围绕自身中心轴的外周面及位于轴向两侧端面;双重相对带,包括至少两个不同高度层级的扭矩传递带;容纳槽,沿所述带轮的一个端面向另一个端面方向剖切形成,且贯穿两个所述端面中的一个,并在所述带轮的外周面形成开口;锚点,设置在所述容纳槽的壁面上;端盖,嵌合设置在所述开口,背离所述带轮的一侧面为平滑面,所述平滑面与所述带轮外周面曲率一致;其中,所述扭矩传递带一部分自所述容置空间导出后,完全包覆于所述带轮外周面与所述端盖的平滑面嵌合拼接形成的圆周面上。采用上述方案,扩大了机械手臂中关节的旋转角度。
本发明授权一种真空机械手臂在权利要求书中公布了:1.一种真空机械手臂,包括上臂(1)、枢转连接在上臂(1)端部的前臂(2)以及枢转连接在所述前臂(2)端部的末端执行器(3),所述上臂(1)和所述前臂(2)中的至少一个内具有传动路径,所述传动路径内设置有扭矩传递机构(4),其特征在于,所述扭矩传递机构(4)包括: 至少两个带轮,分别位于所述传动路径的两端,所述带轮具有围绕自身中心轴的外周面及位于轴向两侧的端面(413); 双重相对带,包括至少两个不同高度层级的扭矩传递带(43),各所述扭矩传递带(43)分别连接在两个带轮之间,并张紧包覆于相邻两个所述带轮的部分外周面; 容纳槽(411),沿所述带轮的一个端面向另一个端面方向剖切形成,且贯穿两个所述端面(413)中的一个,所述容纳槽(411)具有与所述带轮的一个端面及外周面分别连通的容置空间,所述容纳槽(411)在所述带轮的外周面形成开口; 锚点,设置在所述容纳槽(411)的壁面上,用于可拆卸固定所述扭矩传递带(43)的端部; 端盖(44),嵌合设置在所述开口,所述端盖(44)背离所述带轮的一侧端为平滑面(441),所述平滑面(441)与所述带轮外周面曲率一致; 其中,所述扭矩传递带(43)的至少一端部通过所述锚点可拆卸固定并容纳于所述容置空间内,所述扭矩传递带(43)的一部分自所述容置空间导出后,完全包覆于所述带轮外周面与所述端盖(44)的平滑面(441)嵌合拼接形成的圆周面上,并随所述带轮的旋转相对扭矩传递带(43)自身被覆缠绕。
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