买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种用于半导体晶圆清洗回收设备及其回收方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120421274B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510926917.2，技术领域涉及：B08B3/14；该发明授权一种用于半导体晶圆清洗回收设备及其回收方法是由陈焱;赵天翔设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体晶圆清洗回收设备及其回收方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆清洗回收技术领域，且公开了一种用于半导体晶圆清洗回收设备，包括：收集槽、滤网、废料槽以及清洁组件，收集槽底部安装有排料管，且排料管与收集槽内底部最低处连通；滤网固定安装在收集槽内，且滤网遮住收集槽底部，同时滤网可对从其表面穿过的清洗剂进行过滤；废料槽呈圆环形，且可拆卸的安装在收集槽内壁上，同时滤网表面与废料槽的上开口连通，废料槽的内底面开设有贯穿的滤孔；清洁组件可对滤网表面进行刮扫清洁，且刮洁时会将刮洁下来的废料输送至废料槽内，同时刮洁时还会同步从滤网下方对滤网上方吹气；本申请，可有效保证对前端半导体清洗设备流出的清洗进行回收，避免清洗剂内的杂质堵塞滤网导致回收不畅的情况发生。

本发明授权一种用于半导体晶圆清洗回收设备及其回收方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体晶圆清洗回收设备，其特征在于，包括： 收集槽（100），其底部安装有排料管（110），且排料管（110）与收集槽（100）内底部最低处连通； 滤网（200），其固定安装在收集槽（100）内，且滤网（200）遮住收集槽（100）底部，同时滤网（200）可对从其表面穿过的清洗剂进行过滤； 废料槽（300），其呈圆环形，且可拆卸的安装在收集槽（100）内壁上，滤网（200）表面与废料槽（300）的上开口连通，废料槽（300）的内底面开设有贯穿的滤孔； 清洁组件，其包括刮洁组件（400）、排料组件（500）以及反吹组件（600），刮洁组件（400）可对滤网（200）表面进行刮扫清洁，且刮洁组件（400）运转时会驱使排料组件（500）运转，排料组件（500）运转可将刮洁组件（400）上刮下的废料输送至废料槽（300）内，刮洁组件（400）运转同步带动反吹组件（600）运转，反吹组件（600）运转从滤网（200）下方对滤网（200）上方吹气； 所述刮洁组件（400）包括刮条（410）以及驱动组件（420），刮条（410）转动设置在滤网（200）上，且刮条（410）与滤网（200）表面接触，同时刮条（410）转动可刮走滤网（200）表面的截留的杂物，驱动组件（420）与刮条（410）连接，且通过驱动组件（420）驱使刮条（410）转动； 所述驱动组件（420）包括电机（421）以及连接座（422），电机（421）固定安装在收集槽（100）侧面，连接座（422）转动安装在滤网（200）中间，刮条（410）与连接座（422）表面固定连接，且电机（421）输出端与连接座（422）转轴通过两个传动锥齿轮（423）的啮合实现传动，收集槽（100）的内部固定安装有保护箱（424），其处于滤网（200）下方，且两个传动锥齿轮（423）均安装在保护箱（424）内； 所述排料组件（500）包括绞龙（510）、安装架（520）以及传动组件（530），安装架（520）固定安装在刮条（410）上且可随刮条（410）同步移动，绞龙（510）转动安装在安装架（520）上，且刮条（410）转动时从滤网（200）上刮下的杂物会聚拢在安装架（520）中间，安装架（520）靠近废料槽（300）的端部设有出料口（540），且绞龙（510）转动会带动安装架（520）中的杂物从出料口（540）排出并使其流至废料槽（300），传动组件（530）安装在绞龙（510）转轴与连接座（422）之间，且连接座（422）转动时，会通过传动组件（530）带动绞龙（510）转动； 所述传动组件（530）包括固定锥齿轮（531）和转动锥齿轮（532），连接座（422）内部设有空腔，所述固定锥齿轮（531）和转动锥齿轮（532）均安装在空腔内，固定锥齿轮（531）的转轴延伸至收集槽（100）底部并与收集槽（100）固定连接，转动锥齿轮（532）与连接座（422）连接并随连接座（422）同步移动，且转动锥齿轮（532）还可绕自身转轴自转，所述固定锥齿轮（531）和转动锥齿轮（532）相互啮合，同时绞龙（510）的转轴延伸至空腔内，并与转动锥齿轮（532）转轴同轴连接； 所述反吹组件（600）包括吹气管（610）以及供气组件（620），吹气管（610）与连接座（422）固定连接，且处于滤网（200）下方，吹气管（610）的表面开设有若干出气孔，且出气孔朝向滤网（200），供气组件（620）连接在吹气管（610）与外部压缩空气之间，且吹气管（610）随连接座（422）转动时，外部压缩空气可通过供气组件（620）往吹气管（610）供气。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州智程半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：215312 江苏省苏州市昆山市巴城镇中华路889号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。