朗姆研究公司德赖斯·狄克特斯获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于预防高深宽比结构的粘滞和/或修补高深宽比结构的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111279454B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880068993.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权用于预防高深宽比结构的粘滞和/或修补高深宽比结构的系统和方法是由德赖斯·狄克特斯;罗大宇设计研发完成，并于2018-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于预防高深宽比结构的粘滞和/或修补高深宽比结构的系统和方法在说明书摘要公布了：一种用于处理被设置在衬底的表面上的高深宽比HAR结构的方法包含：a使用第一冲洗液对所述衬底的所述表面进行旋转冲洗；b使所述第一冲洗液从所述衬底的所述表面旋转出来；以及c在分配所述第一冲洗液之后，将含有氟化氢的气体混合物导向所述衬底的所述表面上。
本发明授权用于预防高深宽比结构的粘滞和/或修补高深宽比结构的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理被设置在衬底的表面上的高深宽比结构的方法，所述方法包含： a使用第一冲洗液对所述衬底的所述表面进行旋转冲洗； b使所述第一冲洗液从所述衬底的所述表面旋转出来；以及 c在分配所述第一冲洗液之后，将含有氟化氢的气体混合物导向所述衬底的所述表面上，从而消除作用在所述高深宽比结构上的范德华力、氢键和共价氧化物桥连中的至少一者的粘滞力，并修复所述高深宽比结构的塌陷， 其中，a、b以及c是当所述衬底在单一室中维持于从900hPa至1100hPa的范围内的预定压强时执行 并且，在c中，当处理温度超过100℃时向含有氟化氢的所述气体混合物中加入氨以抑制氟化铵的形成。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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