朗姆研究公司克里斯托夫·塞梅尔罗克获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利晶圆清洗方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112740385B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980054280.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆清洗方法及设备是由克里斯托夫·塞梅尔罗克;乌尔里奇·塔辛德勒;赖因哈德·泽尔墨;沃尔特·埃斯特尔设计研发完成，并于2019-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗方法及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及以多液体处理晶圆表面的方法，其包含：将该晶圆的该表面旋转、以及依序列从分开的出口释放不同液体流到该旋转的表面上，其中在该序列中毗连的该等液体流的该释放在过渡阶段期间重迭，且其中在该过渡阶段期间，该液体流在离开该等出口之后合并，以在冲击该旋转的表面之前形成合并的液体流。本发明亦提供结合固持二或更多液体输送管的壳架的液体配给装置，其中该等管的出口朝向彼此而向内弯曲，使得在使用中的输送自该二或更多液体输送管的该等出口的该等液体流合并以形成合并的液体流。
本发明授权晶圆清洗方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种以多液体处理晶圆表面的方法，其包含：将该晶圆的该表面旋转；以及依一序列从分开的出口释放不同液体流到旋转的该表面上，其中在该序列中毗连的液体流的该释放在过渡阶段期间重迭，且其中在该过渡阶段期间，该液体流在离开该出口之后合并，以在冲击该旋转的该表面之前形成合并的液体流。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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