江苏师范大学魏永生获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏师范大学申请的专利一种多通道喷射电沉积装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111304710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010140039.9,技术领域涉及:C25D5/08;该发明授权一种多通道喷射电沉积装置是由魏永生;王茂森;付文英;赵晨浩;韦露;赵新生设计研发完成,并于2020-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多通道喷射电沉积装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多通道喷射电沉积装置,包括第一导轨、第二导轨和喷头,第一导轨利用滑块滑动连接在第二导轨两端,喷头活动地安装在第二导轨上,喷头具有多通道,且与电源的正极相连,并正对着下端连有电源负极的底板,喷头通过喷液泵与溶液槽相连,底板通过吸液泵与溶液槽相连,喷液泵和吸液泵分别与控制器相连。该装置能够实现电沉积装置多通道交替喷镀,喷镀位置精确,电沉积效率高。
本发明授权一种多通道喷射电沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种多通道喷射电沉积装置,其特征在于,包括第一导轨(1)、第二导轨(16)和喷头(18),所述第一导轨(1)利用滑块(2)滑动连接在第二导轨(16)两端,所述喷头(18)活动地安装在第二导轨(16)上,喷头(18)通过回流管(11)与吸液泵(8)相连,通过输液管(12)与喷液泵(13)相连;所述喷头(18)具有多通道,且与电源(14)的正极相连,并正对着下端连有电源(14)负极的底板(17),所述喷头(18)通过喷液泵(13)与溶液槽(10)相连;所述底板(17)通过吸液泵(8)与溶液槽(10)相连,所述喷液泵(13)和吸液泵(8)分别与控制器(9)相连;喷头(18)包括第一流道(18-1)、第一单向阀(18-2)、第二流道(18-3)、第三流道(18-4)、第二单向阀(18-5)、第三单向阀(18-6)、第一喷嘴(18-7)和第二喷嘴(18-8),所述第一流道(18-1)连接第一喷嘴(18-7),第一流道(18-1)上设有连接第三流道(18-4)的第一支路,且入口端与第二阀门开关(10-2)控制的流道相连接,所述第一单向阀(18-2)设置在第一支路上,所述第三流道(18-4)与第二流道(18-3)连接处设有第二单向阀(18-5),且入口端与第一阀门开关(10-1)控制的流道相连接,所述第二单向阀(18-5)处设有连接第三流道(18-4)的第二支路,所述第二支路上设有第三单向阀(18-6),所述第二流道(18-3)连接第二喷嘴(18-8);第一单向阀(18-2)、第二单向阀(18-5)和第三单向阀(18-6)的阀缸面积S1、S2、S3与各自阀内弹簧的弹性系数K1、K2、K3的关系为:ai=Si×Ki×Xi,其中ai为单向阀的开启压力,Xi为弹簧的压缩量,i=1、2、3;第一单向阀(18-2)、第二单向阀(18-5)和第三单向阀(18-6)的开启压力分别为a1=0.07~0.1MPa、a2=0.01~0.08MPa、a3=0.12~0.2MPa。
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