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龙图腾网获悉安徽熙泰智能科技有限公司申请的专利一种硅基OLED探针测试装置及其测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111678676B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010656960.9，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种硅基OLED探针测试装置及其测试方法是由朱平;赵铮涛;曹绪文;刘胜芳;祖伟;任清江;李雪原;宋盖文;许丽华设计研发完成，并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅基OLED探针测试装置及其测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅基OLED探针测试装置及其测试方法，其测试装置包括电气柜和设在电气柜上的测试台，所述测试台上设有探针台和位于探针台上方可水平移动的龙门架，所述探针台上设有用于去扎Wafer外围PAD进行全屏点亮的两根探针，所述龙门架的下部对应探针台设有检测相机和光谱仪。使用两根探针扎到外围PAD上给Die供电使Wafer全屏点亮，再使用面阵相机或TDI线阵相机对Wafer全屏进行快速成像分析，无需探卡，可快速测试使得TactTime较传统自动探针台测试硅基OLED降低76.8％，提高了测试效率，且不会对BondingPAD造成损坏。

本发明授权一种硅基OLED探针测试装置及其测试方法在权利要求书中公布了：1.一种利用硅基OLED探针测试装置的测试方法，其特征在于： 所述硅基OLED探针测试装置包括电气柜和设在电气柜上的测试台，所述测试台上设有探针台和位于探针台上方可水平移动的龙门架，所述探针台上设有用于去扎Wafer外围两个大PAD进行全屏点亮的两根探针，所述龙门架的下部对应探针台设有检测相机和光谱仪；所述龙门架下部的检测相机和光谱仪均为可沿竖直方向升降调节设置；所述检测相机和光谱仪并排设置；所述探针为可移动设置的探针结构；所述龙门架为可沿XY方向移动的台架； 所述测试方法包括以下步骤： Wafer外围两个大PAD设计在Wafer边缘，每个Die上的扎针PAD通过走线集成连到Wafer外围两个大PAD上； Wafer放置在测试台的探针台上，利用探针台自带的两根探针去扎Wafer外围两个大PAD进行全屏点亮； 全屏点亮后面阵或线阵相机进行Z轴焦距调整后沿XY方向对Wafer进行快速成像；相机快速成像后，光谱仪进行每个Die的光谱测试； 光谱仪测试完成后，Wafer进行加载运动，此时计算机系统开始处理测试数据输出测试报告。

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