奥罗拉太阳能技术(加拿大)股份有限公司H·戈达米获国家专利权
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龙图腾网获悉奥罗拉太阳能技术(加拿大)股份有限公司申请的专利表征半导体材料的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115176144B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080095503.5，技术领域涉及：G01N21/25；该发明授权表征半导体材料的系统和方法是由H·戈达米;J·K·C·黄;G·德恩斯设计研发完成，并于2020-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本表征半导体材料的系统和方法在说明书摘要公布了：用于半导体装置的非接触表征的系统和方法。系统可以包含：红外辐射源，所述红外辐射源将辐射朝向所述半导体装置引导；辐射引导装置，所述辐射引导装置定位在所述红外辐射源近侧，所述辐射引导装置用于将辐射朝向所述半导体装置的相对侧引导，所述半导体装置可收纳在所述辐射引导装置与所述红外辐射源之间；以及辐射检测器，所述辐射检测器位于所述红外辐射源近侧，所述辐射检测器用于感测来自所述半导体装置的与多个红外波段相关联的辐射，以确定所述半导体装置的掺杂剂分布性质。所感测辐射可以包含来源于所述红外辐射源的从所述半导体装置反射的辐射。所述所感测辐射可以包含来源于所述辐射引导装置并从所述半导体装置出射的辐射。所述掺杂剂分布性质可以基于与所述多个相应红外波段相关联的红外反射率或红外透射率。
本发明授权表征半导体材料的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于被测半导体装置的非接触表征的系统，所述系统包括： 红外辐射源，所述红外辐射源将辐射朝向所述半导体装置引导； 辐射引导装置，所述辐射引导装置定位在所述红外辐射源近侧并且被配置成将辐射朝向所述半导体装置的相对侧引导，所述半导体装置能收纳在所述辐射引导装置与所述红外辐射源之间；以及 辐射检测器，所述辐射检测器位于所述红外辐射源近侧并且被配置成感测来自所述半导体装置的与多个红外波段相关联的辐射，以确定所述半导体装置的掺杂剂分布性质，所感测辐射包含来源于所述红外辐射源的从所述半导体装置反射的辐射，所述所感测辐射包含来源于所述辐射引导装置并从所述半导体装置出射的辐射， 其中，所述掺杂剂分布性质基于与相应的所述多个红外波段相关联的红外反射率或红外透射率中的至少一个。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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