琳得科株式会社野岛一马获国家专利权
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龙图腾网获悉琳得科株式会社申请的专利保护膜形成膜、保护膜形成用复合片及装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113206039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110047614.5,技术领域涉及:H01L21/78;该发明授权保护膜形成膜、保护膜形成用复合片及装置的制造方法是由野岛一马设计研发完成,并于2021-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护膜形成膜、保护膜形成用复合片及装置的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种即使在形成有保护膜的芯片等工件的加工品进一步被树脂密封的情况下,也能够提高密封树脂与保护膜之间的粘合可靠性的保护膜形成膜及保护膜形成用复合片、以及使用该保护膜形成用复合片制造装置的方法。所述保护膜形成膜是用于形成保护膜的保护膜形成膜,且以260℃加热5分钟后的保护膜的表面粗糙度Ra1为200nm以下。
本发明授权保护膜形成膜、保护膜形成用复合片及装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种保护膜形成膜,其是用于形成保护膜的保护膜形成膜,其中, 构成所述保护膜形成膜的保护膜形成用组合物含有包含丙烯酸树脂的聚合物成分、热固性成分及填充材料, 所述保护膜为热固化物, 以260℃加热5分钟后的所述保护膜的表面粗糙度Ra1为200nm以下, 以260℃加热5分钟后的所述保护膜的水接触角为107°以下。
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