中国科学院物理研究所曹立新获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院物理研究所申请的专利微纳加工系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975161B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110208646.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权微纳加工系统是由曹立新;王瑞;黄忠学;陈浩锋;杨鑫设计研发完成，并于2021-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本微纳加工系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种微纳加工系统，其包括：化学试剂密闭单元、紫外曝光密闭单元和刻蚀单元以及气体净化单元；其中，所述化学试剂密闭单元、紫外曝光密闭单元和刻蚀单元通过样品转移通道连通；所述气体净化单元与所述化学试剂密闭单元、紫外曝光密闭单元和刻蚀单元通过气体循环通道气密性连通，以使得所述微纳加工系统构成气体循环回路；所述刻蚀单元包括通过真空闸板阀密封连通的离子束刻蚀准备单元和离子束刻蚀单元；所述微纳加工系统还包括用于样品进入和离开所述微纳加工系统的样品进出管道。本发明的微纳加工系统具有成本节约、易于维护和操作简单的特点，尤其适用于对氧气、水汽敏感的材料的微纳加工。
本发明授权微纳加工系统在权利要求书中公布了：1.一种微纳加工系统，其包括： 化学试剂密闭单元、紫外曝光密闭单元和刻蚀单元以及气体净化单元；其中， 所述化学试剂密闭单元、紫外曝光密闭单元和刻蚀单元通过样品转移通道连通；所述气体净化单元与所述化学试剂密闭单元、紫外曝光密闭单元和刻蚀单元通过气体循环通道气密性连通，以使得所述微纳加工系统构成气体循环回路；所述刻蚀单元包括通过真空闸板阀密封连通的离子束刻蚀准备单元和离子束刻蚀单元； 所述微纳加工系统还包括用于样品进入和离开所述微纳加工系统的样品进出管道； 所述样品进出管道的两侧设有密封阀门； 所述样品转移通道的两端设有密封阀门； 所述气体循环通道上设有氧气含量探头、水汽含量探头和气体压力探头； 所述气体净化单元包括气体净化箱体和置于其内的风机、有机气体净化柱和氧水净化柱。
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