腾讯科技(深圳)有限公司李凯伟获国家专利权
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龙图腾网获悉腾讯科技(深圳)有限公司申请的专利柔性光学触觉传感器的制备方法及柔性光学触觉传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115077577B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110272448.9,技术领域涉及:G01D5/26;该发明授权柔性光学触觉传感器的制备方法及柔性光学触觉传感器是由李凯伟;黎雄;张中;郑宇;张正友设计研发完成,并于2021-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本柔性光学触觉传感器的制备方法及柔性光学触觉传感器在说明书摘要公布了:本申请提供了一种柔性光学触觉传感器的制备方法及柔性光学触觉传感器。在制备柔性光学触觉传感器时,主要包括两个步骤,一是制备光波导,二是采用包层材料对光波导进行封装。其中,在制备光波导阶段,在采用透明光刻胶形成一种透明光刻图案后,会使用有色光刻胶对这种透明光刻图案进行标记,以防止后续制备过程中无法定位薄膜光路;进一步地,采用对双光子聚合光刻胶进行双光子聚合加工的方式来形成波导光栅,能够大大提高触觉传感器的空间分辨率;另外,在上述制备过程中,所形成的光刻图案和波导光栅的厚度均为微纳米级,使得制备的触觉传感器具备良好的可弯曲性。综上,采用上述制备方法能够得到一种具备柔性和高空间分辨率的触觉传感器。
本发明授权柔性光学触觉传感器的制备方法及柔性光学触觉传感器在权利要求书中公布了:1.一种柔性光学触觉传感器的制备方法,其特征在于,所述方法包括: 制备光波导;所述光波导包括第一光刻图案、第二光刻图案以及波导光栅,所述第一光刻图案是基于透明光刻胶形成的透明图案,所述第二光刻图案是基于有色光刻胶形成的有色图案,所述第二光刻图案用于标记所述第一光刻图案,所述波导光栅是通过对双光子聚合光刻胶进行双光子聚合加工得到的; 采用包层材料,将所述光波导封装成柔性光学触觉传感器; 其中,所述第一光刻图案、所述第二光刻图案以及所述波导光栅的厚度为微纳米级,所述包层材料为柔性材质,所述波导光栅的位置基于所述第一光刻图案的图案形状和所述第二光刻图案的图案形状确定,所述第一光刻图案包括N行排列的蛇形线条;所述第二光刻图案包括N行排列的圆环结构,所述圆环结构上设置有缺口,所述蛇形线条规律性地穿过各个缺口,所述波导光栅位于缺口位置且分布在所述蛇形线条的两侧,N为正整数。
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