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龙图腾网获悉圆益IPS股份有限公司申请的专利传送机器人及包括此的基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113451186B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110313935.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权传送机器人及包括此的基板处理系统是由全京僖;高东宣;罗训希设计研发完成，并于2021-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本传送机器人及包括此的基板处理系统在说明书摘要公布了：本发明涉及用于通过传送模块运送基板的传送机器人及包括此的基板处理系统。本发明公开了一种基板处理系统，包括：传送模块，具有用于运送基板的传送机器人；一个以上的双工艺模块，设置在传送模块的一侧，同时出入两张基板，并且以水平方向配置用于放置两张基板的一对基板支撑部；一个以上的单工艺模块，设置在传送模块的一侧，出入一张基板，并且具有用于放置基板的一个以上的基板支撑部；其中，传送机器人包括第一基板放置部及第二基板放置部，分别具有放置基板的放置面并且位于相同的第一平面上，其中的至少一个以垂直方向旋转轴为中心进行旋转，以位于在运送基板时不干涉运送基板的区域。

本发明授权传送机器人及包括此的基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，其特征在于，包括： 传送模块300，具有用于运送基板的传送机器人500； 一个以上的双工艺模块100，设置在所述传送模块300的一侧，同时出入两张基板10，并且以水平方向配置用于放置两张基板10的一对基板支撑部13； 一个以上的单工艺模块200，设置在所述传送模块300的一侧，出入一张基板10，并且具有用于放置基板10的一个以上的基板支撑部13； 其中，所述传送机器人500包括： 第一基板放置部510a及第二基板放置部510b，所述第一基板放置部510a及第二基板放置部510b分别具有放置基板10的放置面11，并且位于相同的第一平面上；及 第一结合部502，其作为结合所述第一基板放置部510a及所述第二基板放置部510b并且形成垂直方向旋转轴C1的结合枢纽； 所述第一基板放置部510a及所述第二基板放置部510b中的至少一个设置成以同一个垂直方向旋转轴C1为中心进行旋转，以位于在运送基板时不干涉运送基板的区域 所述第一基板放置部510a及所述第二基板放置部510b，针对所述同一个垂直方向旋转轴C1相互独立地旋转驱动，以便执行向所述双工艺模块100同时运送两张基板和向所述单工艺模块200运送一张基板。

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