应用材料公司穆罕纳德·穆斯塔法获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利高温真空密封获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115516616B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180033050.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权高温真空密封是由穆罕纳德·穆斯塔法;穆罕默德·M·拉希德设计研发完成，并于2021-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本高温真空密封在说明书摘要公布了：描述了气体分配组件和包括气体分配组件的处理腔室。气体分配组件包括气体分配板、盖、和主要O形环。将主要O形环放置于气体分配板的第一接触表面的净化通道和第二接触表面之间。描述了使用公开的气体分配组件密封处理腔室的方法。
本发明授权高温真空密封在权利要求书中公布了：1.一种气体分配组件，包括： 气体分配板，所述气体分配板具有前表面及背表面以界定厚度，所述气体分配板包括延伸穿过所述气体分配板的所述厚度的多个孔，所述气体分配板在外边缘处具有密封区域，所述密封区域具有第一接触表面及第二接触表面，所述第一接触表面包括在所述第一接触表面中形成的净化通道； 盖，所述盖具有前表面及背表面以界定厚度，放置所述盖的所述前表面相邻于所述气体分配板的所述背表面，所述盖包括净化气体管线入口及净化气体管线出口，所述净化气体管线入口在所述前表面处具有开口，所述净化气体管线出口在所述前表面处具有开口，所述入口开口及所述出口开口与所述第一接触表面的所述净化通道对准； 主要O形环，在所述第一接触表面的所述净化通道及所述第二接触表面之间放置所述主要O形环； 间隔器环，所述间隔器环具有内部表面及背表面，所述内部表面相邻于所述气体分配板的外部表面，所述背表面相邻于所述气体分配板的所述密封区域中的第三接触表面；和 间隔器环净化气体管线，所述间隔器环净化气体管线从所述背表面延伸穿过所述气体分配板至所述第三接触表面，所述间隔器环净化气体管线包括间隔器环净化气体管线入口及间隔器环净化气体管线出口，所述间隔器环净化气体管线入口在所述气体分配板的所述背表面处具有开口，所述间隔器环净化气体管线出口在所述气体分配板的所述背表面处具有开口，所述入口开口及所述出口开口与间隔器环净化通道对准。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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