ASM IP私人控股有限公司S.甘古力获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利用于反应器系统的激光器对准夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113667953B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110520955.X，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权用于反应器系统的激光器对准夹具是由S.甘古力;T.R.邓恩;A.金蒂设计研发完成，并于2021-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于反应器系统的激光器对准夹具在说明书摘要公布了：一种用于反应器系统的激光器对准夹具，可以用于对准反应器系统的部件以允许将薄膜均匀沉积到衬底上。激光器对准夹具可以包括：盖组件；以及多个激光器和传感器组件。激光器对准夹具可以对准至少：流动控制环、基座，以及反应器系统的侧壁。
本发明授权用于反应器系统的激光器对准夹具在权利要求书中公布了：1.一种用于反应器系统的激光器对准夹具，所述反应器系统用于在衬底上沉积薄膜，包括： 盖组件，配置为置于所述反应器系统上，所述盖组件包括观察窗； 多个激光器和传感器组件，设置在所述盖组件上； 其中所述反应器系统包括： 基座，其中所述基座配置为在其上接收衬底； 基座定位系统，配置为沿着x-y平面移动所述基座； 流动控制环，设置在所述基座的外边缘上；以及 间隔体板，接触所述流动控制环且设置在所述流动控制环的外边缘上； 其中所述多个激光器和传感器组件照射并感测用于确定所述基座、所述流动控制环和所述间隔体板的对准的光；并且 其中通过使用所述基座定位系统将所述光用于调整所述基座的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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