佳能株式会社上野卓郎获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113985702B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110847346.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法是由上野卓郎;板桥宏明设计研发完成，并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法在说明书摘要公布了：本公开涉及扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法。扫描曝光装置针对由照明光学系统照明的照明区域扫描原版，并且一边与原版的扫描同步地扫描基板，一边对基板进行扫描曝光。扫描曝光装置具备：第1调整机构，在进行基板的第1区域的扫描曝光以及与第1区域部分地重复的第2区域的扫描曝光的模式下调整被照射到第1区域与第2区域的重复区域的曝光光的照度分布；第2调整机构，调整照明区域的形状；以及控制部，在执行以在重复区域的整个区域使曝光量超过目标曝光量的方式使第1调整机构动作的第1调整动作之后，执行以在重复区域使曝光量收敛于目标曝光量的容许范围的方式使第2调整机构动作的第2调整动作。
本发明授权扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法在权利要求书中公布了：1.一种扫描曝光装置，针对由照明光学系统照明的照明区域而扫描原版，并且一边与所述原版的扫描同步地对基板进行扫描，一边对所述基板进行扫描曝光，所述扫描曝光装置的特征在于，具备： 第1调整机构，配置在将所述原版的图案投影到所述基板的投影光学系统与所述基板之间，在进行所述基板的第1区域的扫描曝光以及与所述第1区域部分地重复的第2区域的扫描曝光的模式下，调整被照射到所述第1区域与所述第2区域的重复区域的曝光光的照度分布； 第2调整机构，配置在所述照明光学系统与所述原版之间，调整所述照明区域的形状；以及 控制部，在执行以在所述重复区域的整个区域使曝光量超过目标曝光量的方式使所述第1调整机构进行动作的第1调整动作之后，执行以在所述重复区域使曝光量收敛于所述目标曝光量的容许范围的方式使所述第2调整机构进行动作的第2调整动作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号