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东北大学秦皇岛分校陈茂庆获国家专利权

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龙图腾网获悉东北大学秦皇岛分校申请的专利一种基于飞秒激光的光纤探针式微流道超短布拉格光栅制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115933058B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110900040.1,技术领域涉及:G02B6/255;该发明授权一种基于飞秒激光的光纤探针式微流道超短布拉格光栅制备方法是由陈茂庆;贺同月;赵勇设计研发完成,并于2021-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于飞秒激光的光纤探针式微流道超短布拉格光栅制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于光纤器件制作技术领域,公开了一种基于飞秒激光的光纤探针式微流道超短布拉格光栅(ultra‑shortfiberBragggrating,ultra‑shortFBG)制备方法。采用单模光纤拉锥、放电熔接及飞秒激光刻蚀微流道方法制作基于微型探针的超短FBG。微型探针的尺寸可以通过调节熔接机的放电强度、放电时间、放电次数,两侧电极的移动时间、移动距离得以控制。微型探针中刻蚀的超短FBG的周期和周期的个数可以通过调节飞秒激光焦点的移动路径得以控制。该方法可得到结构紧凑、可批量生产、性能稳定的基于微型探针的超短光纤布拉格光栅,在基于光纤布拉格光栅式光纤传感器的生产及应用过程中起着至关重要的作用。该方法可以避免使用特种光纤,降低了光纤器件的制备成本。该方法可以根据应用领域的不同,制备不同直径、不同长度的微型探针以及不同周期和不同周期个数的超短FBG。此外,基于微型探针的超短FBG可以用于折射率、高温、湿度等参数探测。

本发明授权一种基于飞秒激光的光纤探针式微流道超短布拉格光栅制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于飞秒激光的光纤探针式微流道超短布拉格光栅制备方法,其特征在于,包括如下步骤: 1在单模光纤的轴向中心处放电、拉锥并熔断,得到两个单侧锥形光纤; 2将左侧锥形光纤替换为单模光纤,调整单侧锥形光纤和单模光纤的位置,放电熔接,在单模光纤的端面出现微型探针;所述探针的长度为200μm、直径为30μm; 3带有微型探针的单模光纤被放置在飞秒激光的三维移动平台上,设置飞秒激光的功率、频率、波长和焦点移动路径,将微型探针尖端斜切成45°角,调整飞秒激光参数,构成超短FBG的微流道被刻蚀在微型探针中,得到目标参数的基于微型探针的超短光纤布拉格光栅; 步骤1、2中所述的放电操作和步骤2中所述的位置调整是通过熔接机完成的;所述熔接机参数设置为:放电时间5000ms,放电强度3unit,Z轴拉距离1000μm; 步骤3中所述的超短FBG的微流道被刻蚀在微型探针中,是通过飞秒激光完成的;在刻蚀过程中,飞秒激光的频率和功率分别调整为5kHz和2μw;在一个平面上沿Y方向依次扫描29条线,每条线的扫描长度为6μm,线与线间隔为5.35μm,激光焦点的扫描速度设置为20μms;一个平面扫描结束后,激光焦点沿Z轴方向向下移动0.5μm,继续扫描下一个平面,直至60个平面全部扫描完毕,超短FBG完成制备。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东北大学秦皇岛分校,其通讯地址为:066004 河北省秦皇岛市海港区泰山路143号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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