株式会社斯库林集团徐飞获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114141681B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111032159.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置是由徐飞;熊田雄介;甲盛谆设计研发完成，并于2021-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置。旋转保持装置具备：吸附保持部，具有吸附保持衬底的下表面中央部的上表面；及旋转驱动部，使吸附保持部绕铅垂轴旋转。上表面具有周缘部区域、及被周缘部区域包围的中央部区域。在周缘部区域设置有多个第1抽吸孔，且在中央部区域设置有多个第2抽吸孔。周缘部区域中的多个第1抽吸孔的面密度比中央部区域中的多个第2抽吸孔的面密度大。多个第1抽吸孔的面密度及多个第2抽吸孔的面密度也可以不满足所述关系。在该情况下，在旋转保持装置中设置对未由吸附保持部吸附保持的衬底的下表面周缘部的至少一部分的温度进行调整的温度调整部。
本发明授权旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转保持装置，一边吸附保持衬底的下表面中央部一边使它旋转，且具备： 吸附保持部，具有吸附保持所述衬底的所述下表面中央部的上表面；及 旋转驱动部，使所述吸附保持部绕沿上下方向延伸的旋转轴旋转； 所述上表面具有： 周缘部区域，沿着外缘；及 中央部区域，被所述周缘部区域包围； 在所述周缘部区域设置有多个第1抽吸孔， 在所述中央部区域设置有多个第2抽吸孔，且 所述周缘部区域中的所述多个第1抽吸孔的面密度大于所述中央部区域中的所述多个第2抽吸孔的面密度； 所述吸附保持部包含： 多个直线状路径，形成为在俯视下与所述中央部区域重叠且从所述旋转轴朝向所述吸附保持部的外缘呈直线状延伸，将所述多个第2抽吸孔处所抽吸的所述上表面上的气体引导至所述吸附保持部的外部；及 环状路径，形成为在俯视下与所述周缘部区域重叠且包围所述多个直线状路径，将所述多个第1抽吸孔处所抽吸的所述上表面上的气体引导至所述吸附保持部的外部； 所述多个直线状路径的内部空间与所述环状路径相互连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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