中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所秦华获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利单片集成的HEMT太赫兹探测器阵列结构及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115773814B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111030712.4，技术领域涉及：G01J1/42；该发明授权单片集成的HEMT太赫兹探测器阵列结构及其应用是由秦华;吴昊;范飞;孙建东设计研发完成，并于2021-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本单片集成的HEMT太赫兹探测器阵列结构及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种单片集成的HEMT太赫兹探测器阵列结构及其应用。所述太赫兹探测器阵列结构包括呈阵列排布的多个太赫兹探测单元，每一太赫兹探测单元内包括太赫兹探测器、放大器模块和开关模块，太赫兹探测器与放大器模块、开关模块电连接，其中，放大器模块用于将太赫兹探测单元内产生的响应信号放大后通过开关模块输出。本发明通过全HEMT工艺，将太赫兹探测器、放大器模块和开关模块集成于同一太赫兹探测器阵列芯片上，实现了高增益、高带宽、低噪声的太赫兹探测器，提升了探测器的灵敏度，并节约了成本。
本发明授权单片集成的HEMT太赫兹探测器阵列结构及其应用在权利要求书中公布了：1.一种单片集成的太赫兹探测器阵列结构，其特征在于，包括：呈阵列排布的多个太赫兹探测单元；所述太赫兹探测单元包括太赫兹探测器、放大器模块和开关模块，所述太赫兹探测器、放大器模块和开关模块均为HEMT器件；所述放大器模块用于将所述太赫兹探测单元内产生的响应信号放大后通过所述开关模块输出；所述太赫兹探测器的源极接第一电压，栅极接第二电压，漏极与放大器模块的栅极电连接；所述放大器模块的源极接第二电压，漏极经放大器模块的负载接电源电压，并还与开关模块的源极电连接；所述开关模块的栅极接行选信号，漏极经列负载接地，并输出太赫兹探测单元内的响应信号。
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