先导薄膜材料(广东)有限公司周桂媚获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种溅射靶材研磨装置及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113732835B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111116516.9，技术领域涉及：B24B5/04；该发明授权一种溅射靶材研磨装置及加工方法是由周桂媚;刘佰玲;胡智向;童培云;朱刘设计研发完成，并于2021-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射靶材研磨装置及加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材加工技术领域，公开了一种溅射靶材研磨装置及加工方法，所述溅射靶材研磨装置包括机架和研磨用砂轮，所述机架的一端可移动地设有尾顶，所述机架的另一端对应所述尾顶可转动地设有工作头，所述工作头上设有工装夹具，所述工装夹具内可拆卸地插接有靶材套筒，所述砂轮可移动地设置在所述工装夹具与所述尾顶之间。采用本发明溅射靶材研磨装置及加工方法，研磨靶材内径时在工装夹具上安装靶材套筒，然后将靶材坯料固定在靶材套筒内进行内表面的研磨，避免了其在研磨过程中的圆跳动，不仅方便对内表面进行研磨，而且研磨外表面时也不用多次研磨，从而提高了对长管形溅射靶材的研磨精度及研磨速率，提高了产品合格率，降低了成本。
本发明授权一种溅射靶材研磨装置及加工方法在权利要求书中公布了：1.一种溅射靶材研磨装置，其特征在于：包括机架和研磨用砂轮，所述机架的一端可移动地设有尾顶，所述机架的另一端对应所述尾顶可转动地设有工作头，所述工作头上设有工装夹具，所述工装夹具内可拆卸地插接有靶材套筒，所述砂轮可移动地设置在所述工装夹具与所述尾顶之间； 所述靶材套筒包括相连接的主体部和夹持部，所述主体部的横截面为圆形，所述夹持部的横截面为弧形； 所述机架上设有驱动机构，分别用于驱动所述砂轮沿溅射靶材的轴向及径向进行移动，以及用于驱动溅射靶材旋转，实现所述砂轮对溅射靶材内、外表面的研磨； 所述靶材套筒上设有紧固组件； 所述紧固组件包括均布于所述靶材套筒上的若干螺纹孔和设于所述靶材套筒另一端内壁的端面固定扣，所述螺纹孔内螺纹连接有螺栓； 所述端面固定扣设置在所述夹持部，所述螺纹孔设置在所述主体部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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