东京毅力科创株式会社河西繁获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利载置台、检查装置和检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496838B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111212812.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权载置台、检查装置和检查方法是由河西繁;太田智浩设计研发完成，并于2021-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台、检查装置和检查方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种载置台、检查装置和检查方法。本发明的载置台，其上表面载置处理对象的器件，包括：具有所述器件的载置面的顶板；对所述顶板进行加热的加热单元；多个温度传感器，其在俯视时的所希望的测量位置获取所述顶板的温度；和定位单元，其与所述温度传感器电连接，将所述温度传感器定位在俯视时的所述测量位置，所述定位单元由具有挠性的柔性电路板构成。根据本发明，能够在不降低检查装置中的载置台的构造上的强度的同时，减小检查对象的器件的实际温度与由温度传感器测量的上述器件的测量温度之间产生的差。
本发明授权载置台、检查装置和检查方法在权利要求书中公布了：1.一种载置台，其上表面载置处理对象的器件，该载置台的特征在于，包括： 具有所述器件的载置面的顶板； 对所述顶板进行加热的加热单元； 多个温度传感器，其在俯视时的所希望的测量位置获取所述顶板的温度；和 定位单元，其与所述温度传感器电连接，将所述温度传感器定位于俯视时的所述测量位置， 所述定位单元由具有挠性的柔性电路板构成， 在所述顶板的背面侧形成有凹部，所述温度传感器通过所述定位单元而配置在该凹部的内部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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