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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利检查装置和探针的研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114487524B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111209613.2，技术领域涉及：G01R3/00；该发明授权检查装置和探针的研磨方法是由小林将人设计研发完成，并于2021-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本检查装置和探针的研磨方法在说明书摘要公布了：本发明提供检查装置和探针的研磨方法。检查装置用于对检查对象基片进行检查，包括：检查用载置台；输送机构；载置研磨用基片的研磨用载置台，研磨用基片用于对在检查时与基片接触的探针进行研磨、且具有可由输送机构输送的形状和大小；使检查用载置台移动以相对于探针进退的第1进退机构；和使研磨用载置台移动以相对于探针进退的第2进退机构，研磨用载置台是在检查用载置台以外另外设置的，检查用载置台的退避区域与研磨用载置台的退避区域在俯视时位于将探针夹在中间的相反侧的位置，第2进退机构构成为：使得研磨用基片中的与该研磨用基片的退避区域侧相反的一侧在俯视时能够与探针重叠，而该研磨用基片的退避区域侧在俯视时不能与探针重叠。

本发明授权检查装置和探针的研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种检查装置，其为用于对检查对象基片进行检查的检查装置，其特征在于，包括： 用于载置所述检查对象基片的检查用载置台； 至少能够输送所述检查对象基片的输送机构； 用于载置研磨用基片的研磨用载置台，所述研磨用基片是用于对在检查时与基片接触的探针进行研磨的部件、并且具有能够由所述输送机构输送的形状和大小； 第1进退机构，其用于使所述检查用载置台移动，以使所述检查用载置台相对于所述探针进退；和 第2进退机构，其用于使所述研磨用载置台移动，以使所述研磨用载置台相对于所述探针进退， 所述研磨用载置台是在所述检查用载置台以外另外设置的， 所述检查用载置台的退避区域与所述研磨用载置台的退避区域，在俯视时位于将所述探针夹在中间的相反侧的位置， 所述第2进退机构构成为：使得被载置在所述研磨用载置台上的所述研磨用基片中的、将该研磨用基片在俯视时分成2部分时作为与所述研磨用载置台的所述退避区域侧相反的一侧的跟前侧在俯视时能够与所述探针重叠，而作为所述研磨用载置台的所述退避区域侧的里侧在俯视时不能与所述探针重叠， 所述检查装置还包括用于使所述研磨用载置台旋转的旋转机构， 能够利用所述旋转机构和所述第2进退机构，使得被载置在所述研磨用载置台上的所述研磨用基片中的所述里侧的在俯视时不能与所述探针重叠的区域，成为所述跟前侧的区域而在俯视时能够与所述探针重叠。

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