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上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)郭小庆获国家专利权

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龙图腾网获悉上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)申请的专利腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114167625B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111397396.4,技术领域涉及:G02F1/01;该发明授权腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器是由郭小庆;王晓东;马维一;崔慧源;李云云设计研发完成,并于2021-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器,包括矩形波导和调制芯片,调制芯片设置在矩形波导的腔体壁上;矩形波导上设置有输入波导口和输出波导口;调制芯片包括半导体衬底和置于半导体衬底上的人工微结构;半导体衬底一侧与矩形波导的腔体壁相接触,人工微结构与矩形波导的腔体壁不接触;矩形波导纵向上下两侧壁与调制芯片相接触,矩形波导纵向上下两侧壁上分别设置有空气窗,空气窗用于外部控制电路与芯片上的电极进行电气连接。本发明的调制芯片上的人工微结构采用极少的调制单元,与传统的大阵列设计相比,存在于大阵列结构中的寄生模式被有效抑制,这有利于芯片中二极管高频特性的发挥,从而提高器件的调制速率。

本发明授权腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器在权利要求书中公布了:1.一种腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器,其特征在于,包括矩形波导1和调制芯片2,所述调制芯片2设置在所述矩形波导1的腔体壁上; 所述矩形波导1上设置有输入波导口10和输出波导口11,所述调制芯片2所在平面与所述输入波导口10面、所述输出波导口11面相垂直; 所述调制芯片2包括半导体衬底3和置于所述半导体衬底3上的人工微结构;所述半导体衬底3一侧与所述矩形波导1的腔体壁相接触,所述人工微结构与所述矩形波导1的腔体壁不接触; 所述矩形波导1纵向上下两侧壁与所述调制芯片2相接触,所述矩形波导1纵向上下两侧壁上分别设置有空气窗,所述空气窗用于外部控制电路与芯片上的电极进行电气连接; 所述人工微结构包括调制阵列4和套接电路,所述调制阵列4与所述套接电路相连接; 所述调制阵列4是由调制单元构成的1*N型阵列,1代表调制阵列4的行数,N代表每行中调制单元的个数,其中N≥1; 所述调制阵列4内所述调制单元为两个,所述调制单元通过并联方式按照所述矩形波导1中太赫兹波传输方向顺序连接,并通过各所述调制单元的共有枝节与外部馈电区域连接; 所述调制单元包括二极管7、阳极谐振器9以及阴极谐振器8; 所述阳极谐振器9和所述阴极谐振器8为大小相同的矩形结构,所述阳极谐振器9和所述阴极谐振器8对称设置于所述二极管7两侧,所述阳极谐振器9和所述阴极谐振器8关于所述二极管7互为镜像结构; 相邻的所述阳极谐振器9通过横向枝节彼此相连,相邻的所述阴极谐振器8通过横向枝节彼此相连; 所述二极管7置于所述阴极谐振器8和所述阳极谐振器9的间隙上方,所述二极管7的阴阳两极分别与所述阴极谐振器8和所述阳极谐振器9相接; 所述套接电路与所述阳极谐振器9、所述阴极谐振器8相连接; 套接电路包括接地结构5和滤波馈电结构6,所述接地结构5和所述滤波馈电结构6均为紧凑的微带谐振器; 所述接地结构5上的横向枝节与所述阴极谐振器8一端相连,所述滤波馈电结构6上的横向枝节与所述阳极谐振器9一端相连。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所),其通讯地址为:200063 上海市普陀区武宁路423号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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