拓荆科技股份有限公司谭华强获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利半导体工艺腔体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334728B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111614005.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺腔体是由谭华强;申思;黄明策设计研发完成，并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺腔体在说明书摘要公布了：本发明揭露一种半导体工艺腔体，其包含一电热偶。电热偶具有一管套，其包覆有内芯导线且具有一下游端及一上游端，所述下游端作为感温部且插入射频所施加的一部件中，所述上游端电连接至一腔体。其特征在于：所述腔体接地，使所述射频于所述管套表面所引起的流动电流能够经由所述腔体流至接地，使射频被屏蔽在所述腔体内。
本发明授权半导体工艺腔体在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺腔体，包含： 一电热偶，具有一测温的内芯导线及一管套，其中，所述管套包覆所述内芯导线且具有一下游端及一上游端，所述下游端作为感温部插入射频所施加的一喷淋组件中，以感测所述喷淋组件的温度，所述上游端电连接至一腔体顶部；以及 所述腔体顶部，固定有所述喷淋组件，并提供有一压制组件，所述压制组件包含固定于所述腔体顶部上方的一夹持座、位于所述腔体顶部下方的一夹套以及位于所述夹持座及所述夹套之间的一弹簧，其中，所述腔体顶部接地，使所述射频于所述管套表面所引起的流动电流经由所述腔体顶部流至地，以使所述射频被屏蔽在所述腔体内而不会干扰所述内芯导线，所述压制组件连接所述电热偶，并沿着所述电热偶的插入方向提供一压制力，所述夹持座和所述夹套分别夹持所述电热偶的管套，所述弹簧提供所述压制力给所述夹套，以使所述电热偶的下游端与所述喷淋组件中的测温处紧密接触，所述夹持座具有一夹头及一屏蔽环，所述夹头夹持所述电热偶的管套，所述屏蔽环连接于所述夹持座的外围，使所述夹持座经游所述屏蔽环固定至所述腔体顶部的上表面，而未使所述夹持座接触所述腔体顶部。
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