上海积塔半导体有限公司叶蔚宁获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种摇片机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284938U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422626095.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种摇片机是由叶蔚宁;曹曙铖设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种摇片机在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种摇片机，涉及晶圆加工技术领域。本实用新型的摇片机，包括：底座，具有相对设置的顶面和底面，顶面放置晶圆盒；框体，至少包括两个相对设置的侧壁和连接两个侧壁的底板，底座容纳于侧壁和底板形成的空腔内；滚动轴，可转动的连接至两个侧壁；升降装置，安装于底座靠近侧壁的的一端，以升降框体并带动安装于框体内的滚动轴升降。升降装置能够抬起滚动轴，进而抬起晶圆，操作人员能够更加方便的观察晶圆底部的情况；底座为材质和大小规格与晶圆盒材质相匹配。使其能够与不同规格的晶圆盒更好地适配，能够有效减少了因摩擦或不当接触而产生的微小颗粒。
本实用新型一种摇片机在权利要求书中公布了：1.一种摇片机，其特征在于，包括： 底座，具有相对设置的顶面和底面，所述顶面用于放置晶圆盒； 框体，至少包括两个相对设置的侧壁和连接所述侧壁的底板，所述底座容纳于所述侧壁和所述底板形成的空腔内； 滚动轴，位于所述底座的中间位置，且可转动的连接至两个所述侧壁； 升降装置，安装于所述底座靠近所述侧壁的一端，以升降所述框体并带动安装于所述框体内的所述滚动轴升降。
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