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龙图腾网获悉沈阳辉亚工业智能装备有限公司申请的专利一种晶圆超声场的数字检测系统及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120121717B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510615556.X，技术领域涉及：G01N29/06；该发明授权一种晶圆超声场的数字检测系统及其方法是由何光;刘利设计研发完成，并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆超声场的数字检测系统及其方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种晶圆超声场的数字检测系统及其方法，其中，一种晶圆超声场的数字检测方法包括：配置声学拓扑绝缘体耦合系统，构建无散射声波传输通道；构建异质超表面声场调控系统，获取深度维度信息；应用声学全息补偿算法，消除弯曲区域成像畸变，输出补偿后的声场分布；执行相位恢复与环形重建算法，实现边缘区域高质量三维成像；实现自适应耦合调整系统，根据实时监测的边缘反射信号质量自动调整耦合材料特性；本发明通过声学拓扑绝缘体耦合系统构建无散射声波传输通道，有效解决了边缘区域声波散射严重的问题，使晶圆边缘区域的检测灵敏度有所提高，缺陷漏检率从传统方法的有所降低，提升了晶圆检测的完整性。

本发明授权一种晶圆超声场的数字检测系统及其方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆超声场的数字检测方法，其特征在于，包括： 配置声学拓扑绝缘体耦合系统，构建无散射声波传输通道； 基于声学拓扑绝缘体耦合系统，构建异质超表面声场调控系统，获取深度维度信息； 在获取深度维度信息的基础上，应用声学全息补偿算法，消除弯曲区域成像畸变，通过计算补偿波前函数将晶圆边缘弯曲区域虚拟展平为等效平面，并计算补偿后的声场分布； 利用补偿后的声场分布，执行相位恢复与环形重建算法，实现边缘区域高质量三维成像； 根据重建的三维成像结果，实现自适应耦合调整系统，根据实时监测的边缘反射信号质量自动调整耦合材料特性，所述实现自适应耦合调整系统的步骤包括： 构建基于相变材料的自适应耦合层，选择声学相变材料作为耦合介质，其声阻抗Z在温度变化下满足： ； 其中为温度变化下的声阻抗值，为基准阻抗值，为阻抗变化幅度系数，为温度响应灵敏度系数，为相对于相变临界温度的温差，为双曲正切函数； 构建实时监测子系统，连续评估边缘反射信号质量，基于回波信号的信噪比和波形完整性，计算信号质量评价指标； 应用反馈控制算法，根据信号质量自动调整相变材料的温度分布； 输出自适应优化后的耦合状态，实现检测系统与晶圆边缘之间的最佳声学匹配。

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