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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种具有自动定位夹持功能的晶圆膜厚检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120432421B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510921388.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种具有自动定位夹持功能的晶圆膜厚检测设备是由曹晓光;李峰;邵秋新;张同雷设计研发完成，并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有自动定位夹持功能的晶圆膜厚检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有自动定位夹持功能的晶圆膜厚检测设备，涉及晶圆检测技术领域，本发明通过设置有定位盒，并在定位盒内设置有用于驱动第二吸盘横纵移动和旋转的调节组件，配合同步组件和触发单元的定位限制，使得晶圆在被搬运至加工检测腔内加工和检测膜厚前，会先在加工检测腔外的定位盒内进行快速精准的定位夹持，而后通过转运臂以固定姿态精准送入加工检测腔内，将对晶圆的精准定位分离至加工检测腔外侧，在保障晶圆定位精准的情况下，降低复杂定位结构对晶圆加工和检测造成的影响，有利于提升检测精准性，并有利于保障该设备运行过程中的高效便捷性。

本发明授权一种具有自动定位夹持功能的晶圆膜厚检测设备在权利要求书中公布了：1.一种具有自动定位夹持功能的晶圆膜厚检测设备，包括机台（1），其特征在于：所述机台（1）的顶部安装有转运臂（2），所述机台（1）的右侧设置有第一料区（3），所述机台（1）上设置有定位盒（4），且定位盒（4）内设置有第二吸盘（401），所述定位盒（4）内安装有用于驱动第二吸盘（401）横纵移动和旋转的调节组件（402），所述调节组件（402）包括固定在定位盒（4）内的第一电滑轨（4021），且第一电滑轨（4021）的滑台上固定有与其垂直设置的第二电滑轨（4022），所述第二电滑轨（4022）的滑台上固定有连接台（4023），所述第二吸盘（401）与连接台（4023）转动连接，所述连接台（4023）内固定有第一齿环（4024），所述连接台（4023）上固定有第四电机（4025），且第四电机（4025）的驱动轴上固定有与第一齿环（4024）啮合的第一齿轮（4026），所述定位盒（4）内安装有与第二吸盘（401）对应设置的同步组件（403），所述同步组件（403）上安装有众多均匀分布的触发单元（405），所述机台（1）的左侧设置有加工检测腔（5），且加工检测腔（5）内安装有第三吸盘（501），以及设置在第三吸盘（501）上方的膜厚仪（502）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人涌淳半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区城南路228号306室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。