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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所胡海翔获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利干涉检测装置对焦方法、系统及其传递函数获取方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120445594B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510930810.5,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权干涉检测装置对焦方法、系统及其传递函数获取方法是由胡海翔;张学军;田明森;李明茁设计研发完成,并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

干涉检测装置对焦方法、系统及其传递函数获取方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种干涉检测装置对焦方法、系统及其传递函数获取方法,涉及光学系统领域,用于解决现有人工判断对焦会由于操作者经验等因素的影响容易产生误差的问题。本发明通过将测试板置于干涉检测装置的出光侧的多个位置并测得实测面形,以及利用高斯模型构建测试板在各个位置的仿真退化波前并获得仿真面形,通过建立描述测试板在所述至少两个位置的仿真面形和实测面形的差量的目标函数并求解目标函数,获得使目标函数取值最小的测试板最佳位置,以将测试板移动至最佳位置,实现对焦。那么,与现有技术相比,本发明通过对测试板测得实测面形和建立仿真面形并通过相应计算实现干涉检测装置对焦,能够提高对焦准确性,减小对焦误差。

本发明授权干涉检测装置对焦方法、系统及其传递函数获取方法在权利要求书中公布了:1.一种干涉检测装置对焦方法,其特征在于,包括: 将测试板设置于干涉检测装置的出光侧,使所述测试板分别位于沿所述测试板的光场传播方向的至少两个位置,在所述测试板位于所述至少两个位置的任一位置时,通过所述干涉检测装置检测获得所述测试板的实测面形,其中,所述至少两个位置包括初始位置,对于所述至少两个位置的任一位置,以沿所述测试板的光场传播方向所述任一位置相对于所述初始位置的距离,表示所述任一位置在沿所述测试板的光场传播方向的位置; 构建所述测试板的理想波前,获得所述测试板在所述至少两个位置的任一位置时的仿真退化波前,并根据所述任一位置的所述仿真退化波前的相位信息获得所述测试板在所述任一位置时的仿真面形,所述任一位置的所述仿真退化波前以所述理想波前和所述任一位置的高斯模型卷积表示,所述任一位置的高斯模型描述将所述测试板的光场分解为多个微元,所述微元传播至所述任一位置时的复振幅; 建立目标函数并求解所述目标函数,获得使所述目标函数取值最小的所述测试板在沿所述测试板的光场传播方向的最佳位置,以将所述测试板移动至所述最佳位置,所述目标函数描述所述测试板在所述至少两个位置的所述仿真面形和所述实测面形的差量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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