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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于扫描电子显微镜应用的传感器模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114365257B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080060224.5，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权用于扫描电子显微镜应用的传感器模块是由M·特伦颇设计研发完成，并于2020-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于扫描电子显微镜应用的传感器模块在说明书摘要公布了：公开一种扫描电子显微镜SEM系统。所述SEM系统包含经配置以产生电子射束的电子源及经配置以跨样本扫描所述电子射束且将通过所述样本散射的电子聚焦到一或多个成像平面上的一组电子光学器件。所述SEM系统包含定位于所述一或多个成像平面处的第一检测器模块，其中所述第一检测器模块包含经配置以将来自所述样本的例如电子及或x射线的散射粒子转换成一组等效信号电荷的多像素固态传感器。所述多像素固态传感器连接到经配置以处理来自所述传感器的一或多个像素的所述组信号电荷的两个或更多个专用集成电路ASIC。

本发明授权用于扫描电子显微镜应用的传感器模块在权利要求书中公布了：1.一种扫描电子显微镜系统，其包括： 电子源，其经配置以产生电子射束； 一组电子光学器件，其经配置以跨样本扫描所述电子射束且将通过所述样本而散射的电子聚焦到一或多个成像平面上；及 第一检测器模块，其定位于所述一或多个成像平面处， 其中所述第一检测器模块包含经配置以将来自所述样本的散射粒子转换成一组等效信号电荷的多像素固态传感器， 其中所述多像素固态传感器连接到经配置以处理来自所述传感器的一或多个像素的所述一组等效信号电荷的两个或更多个专用集成电路ASIC，其中每一个ASIC均包含多个集群，其中每一集群均包含至少四个像素，且其中各个ASIC经配置以： 检测由相应集群在第一时间间隔中收集的电荷，其中所述第一时间间隔与扫描时钟同步以产生对应于由所述相应集群在所述第一时间间隔中收集的所述电荷的第一电信号，并将所述第一电信号转换成第一数字信号；以及 检测由所述相应集群在第二时间间隔中收集的电荷，其中所述第二时间间隔与所述扫描时钟同步以产生对应于在所述第二时间间隔中收集的所述电荷的第二电信号且将所述第二电信号转换成第二数字信号，其中在完成转换所述第一电信号之前开始转换所述第二电信号。

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