TES股份有限公司黄玄想获国家专利权
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龙图腾网获悉TES股份有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649185B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111562613.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理装置是由黄玄想;孙洪儁设计研发完成，并于2021-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置，更具体地涉及一种能够在使用等离子体的基板处理装置抑制在传输高频功率的同轴电缆发生的发热现象的基板处理装置。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于， 包括： 第一电极，设置在腔体内部； 第二电极，与所述第一电极相对，设置在所述腔体内部；及 高频供应部，与所述第二电极连接， 所述高频供应部包括： 射频发生器，向所述第二电极供应高频功率； 匹配器，在所述第二电极和所述射频发生器之间连接而匹配所述高频功率的阻抗； 同轴电缆，配置在所述匹配器和所述腔体之间而向所述第二电极传送高频功率； 阻抗转换器，改变所述同轴电缆的阻抗，其中所述阻抗转换器在所述同轴电缆和所述腔体之间连接，所述阻抗转换器在从所述射频发生器观察时配置在所述同轴电缆的后端。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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