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龙图腾网获悉湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种PECVD反应室电极杆获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115440566B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211078949.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种PECVD反应室电极杆是由王随心;刘舟设计研发完成，并于2022-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种PECVD反应室电极杆在说明书摘要公布了：本发明公开了一种PECVD反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；内绝缘座和外绝缘座套设在连接杆上，外锁紧筒套设于接线杆和外绝缘座上，锁紧筒与轴环外侧相抵，锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，第一限位槽内设置有限位板，接线杆的一端设置有第二限位槽，当接线杆的一端螺纹连接至连接杆的螺纹孔后，限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；锁紧筒中间为方形孔，接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，轴肩穿设在锁紧筒的方形孔内。本发明具有结构简单、改造简便、连接可靠等优点。

本发明授权一种PECVD反应室电极杆在权利要求书中公布了：1.一种PECVD反应室电极杆，其特征在于，包括接线杆1、连接杆11、内绝缘座5、外绝缘座9、锁紧筒8、压紧组件和电极法兰10；所述接线杆1的一端与所述接线杆1的一端螺纹连接，所述内绝缘座5套设在所述连接杆11上，所述外绝缘座9套设于接线杆1上轴环102与内绝缘座5之间的连接杆11上，所述锁紧筒8套设于所述接线杆1和外绝缘座9上，所述锁紧筒8的一端内侧与接线杆1上的轴环102外侧相抵，所述锁紧筒8的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座9上，所述连接杆11的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽1101，所述第一限位槽1101内设置有限位板12，所述接线杆1的一端设置有第二限位槽101，当所述接线杆1的一端螺纹连接至所述连接杆11的螺纹孔后，所述限位板12卡设于第一限位槽1101和第二限位槽101内，以对接线杆1与连接杆11之间的轴向运动进行限位；所述锁紧筒8中间为方形孔801，所述接线杆1于轴环102的一侧设置有方形轴肩103，所述轴肩103穿设在所述锁紧筒8的方形孔801内； 所述第二限位槽101为环形槽； 所述外绝缘座9与轴环102之间设置有第一密封件13。

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