东莞市兆丰精密仪器有限公司段存立获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市兆丰精密仪器有限公司申请的专利一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法及测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115790377B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211504755.6,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法及测量系统是由段存立;黄宏臻设计研发完成,并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法及测量系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法,其包括步骤S1,设载物平台上表面为理论坐标系零点Z,光学显微镜筒的理论聚焦高度为Z0,Z与Z0之间的距离为C;S2,上电初始化,打开测量软件“一键回零”功能,光学影像组件在Z0上、下区域内扫描搜索载物平台的上表面并拍摄若干张图片,计数光栅尺采集每张图片的Z轴坐标值信息;S3,测量软件提取最清晰的几张图片,这些图片在高度方向上空间层叠且形成高度区域,在这个区域内软件根据每张图片的清晰度以抛物线方式拟合得一个峰值点,峰值点所对应的Z轴坐标值就是实际聚焦高度Zn,计算出点Z与Zn之间距离为Cn;S4.Z轴升降模块在当前的Zn位置沿Z轴上偏移‑△C=Cn‑C,修正了理论坐标系零点Z。
本发明授权一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法及测量系统在权利要求书中公布了:1.一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法,所述全自动影像仪包括载物平台、位于所述载物平台上方的光学影像组件以及可驱动所述光学影像组件沿Z轴方向移动的Z轴升降模块、可输出Z轴绝对坐标值的计数光栅尺,所述光学影像组件包括光学显微镜筒、CCD机构以及光源,其特征在于,所述方法包括步骤: S1,设定所述载物平台的上表面为理论坐标系零点Z,所述光学显微镜筒的理论聚焦高度为Z0,所述理论坐标系零点Z与所述理论聚焦高度为Z0之间的距离为C,C为常数; S2,所述全自动影像仪上电初始化后,打开测量软件点击“一键回零”功能,所述Z轴升降模块驱动所述光学影像组件在所述理论聚焦高度Z0上、下区域内自动扫描搜索所述载物平台的上表面并拍摄若干张图片,所述计数光栅尺采集所述若干张图片的Z轴绝对坐标值,每张图片具有一个对应的Z轴坐标值信息; 在步骤S2中,所述光学影像组件在所述理论聚焦高度Z0的上下区域沿固定间隔平滑扫描所述载物平台的上表面,所述固定间隔为0.1微米; S3,所述测量软件分析所述若干张图片,提取出其中最清晰的一张,并获得相应的实际聚焦高度Zn,计算出理论坐标系零点Z与实际聚焦高度Zn之间的距离为Cn; 在步骤S3中,所述测量软件分析所述若干张图片,提取最清晰的几张图片,令所述几张图片在高度方向上空间层叠且形成一个高度区域,在所述高度区域内所述测量软件根据每张图片的清晰度再以抛物线方式拟合得出一个峰值点,峰值点所对应的Z轴坐标值就是实际聚焦高度Zn; S4.所述测量软件控制所述Z轴升降模块在当前的实际聚焦高度Zn位置沿Z轴上偏移-△C=Cn-C,从而修正了Z轴的理论坐标系零点Z。
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