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龙图腾网获悉南京工程学院申请的专利基于离焦图像的晶圆表面缺陷识别方法、存储介质和电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116485706B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211587661.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于离焦图像的晶圆表面缺陷识别方法、存储介质和电子设备是由何睿清;周鑫宇;郝飞;张慧;何余杰;朱超涵;宋佳潼设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于离焦图像的晶圆表面缺陷识别方法、存储介质和电子设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于离焦图像的晶圆表面缺陷识别方法包括如下步骤：一，读取离焦晶圆表面缺陷的原始图像；二，使用离散傅里叶变换，得到频域图像；三，用高斯低通滤波器来获得不均匀光照的背景，得到晶圆光照背景频域图像；四，使用傅里叶反变换，得到在空间域的背景图像；五，在原始图像上减去背景图像，得到晶圆图像；六，选用中值滤波去噪；七，使用分水岭算法进行图像分割，并进行区域合并；八，进行区域分析，采用粗筛选加精筛选的方法进行缺陷区域的识别。本发明对于不同光照场景下的晶圆图像，使用自适应背景估计方法能去除图像光照背景，便于后续处理；采用分水岭算法进行分割，减少相似干扰区域；使用联合筛选方法，增加识别效果。

本发明授权基于离焦图像的晶圆表面缺陷识别方法、存储介质和电子设备在权利要求书中公布了：1.一种基于离焦图像的晶圆表面缺陷识别方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一，读取离焦晶圆表面缺陷的原始图像fx,y，其像素大小为M×N，M为原始图像的宽度，N为原始图像的长度； 步骤二，对于原始图像使用离散傅里叶变换，得到频域图像Fu,v； 步骤三，用高斯低通滤波器Hu,v来获得所述频域图像Fu,v中不均匀光照的背景；保留频域图像Fu,v中的低频信息，得到晶圆光照背景频域图像Gu,v； 步骤四，使用傅里叶反变换，得到晶圆光照背景频域图像Gu,v在空间域的晶圆光照背景图像gx,y； 步骤五，在空域中，在原始图像fx,y上减去所述晶圆光照背景图像gx,y，得到背景去除的晶圆图像hx,y；公式为：hx,y＝fx,y-gx,y； 步骤六，选用中值滤波作为图像去噪方法对晶圆图像去噪； 步骤七，对去噪后的晶圆图像使用分水岭算法进行图像分割，得到图像的预分割结果，并对该结果进行区域合并； 步骤八，对分割并合并后的晶圆图像，进行区域分析，并采用粗筛选加精筛选的联合筛选方法来进行缺陷区域的识别。

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