常州大学夏新栋获国家专利权
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龙图腾网获悉常州大学申请的专利基于单目测距的探针台对针高度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116358424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310302381.8，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权基于单目测距的探针台对针高度测量方法是由夏新栋;杨彪;兰昊;姜丰;戚璐璐;谢陈明玥;杨长春;王睿设计研发完成，并于2023-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于单目测距的探针台对针高度测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于单目测距的探针台对针高度测量方法，包括：S1，对载片台上的晶圆进行精准定位，使晶圆的晶粒位于定焦相机的聚集位置附近；S2，升降所述载片台，改变物距，拍摄多张晶圆图像，通过平方梯度函数找到最清晰的晶圆图像，作为聚集像；S3，将所述载片台保持在得到所述聚集像的高度，微幅改变定焦相机的像距，拍摄至少两幅不同程度的散焦像；S4，基于其中两幅散焦像的参数，通过高斯分布的点扩散函数，计算得到所述聚集像的物距u；S5，基于所述聚集像的物距u及探针自由端与对焦相机之间的高度差得到对针高度。本发明测量精度高，使得探针台可精确对针。
本发明授权基于单目测距的探针台对针高度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于单目测距的探针台对针高度测量方法，其特征在于， 包括： S1，对载片台上的晶圆进行精准定位，使晶圆的晶粒位于定焦相机的聚集位置附近； S2，升降所述载片台，改变物距，拍摄多张晶圆图像，通过平方梯度函数找到最清晰的晶圆图像，作为聚集像； S3，将所述载片台保持在得到所述聚集像的高度，微幅改变定焦相机的像距，拍摄至少两幅不同程度的散焦像； S4，基于其中两幅散焦像的参数，通过高斯分布的点扩散函数，计算得到所述聚集像的物距； S5，基于所述聚集像的物距及探针自由端与对焦相机之间的高度差得到对针高度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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