中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所凌小伦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利原子力显微镜悬臂探针及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116519979B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310587119.2，技术领域涉及：G01Q60/38；该发明授权原子力显微镜悬臂探针及其制作方法是由凌小伦;徐耿钊;刘争晖;张春玉;张珽设计研发完成，并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本原子力显微镜悬臂探针及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种原子力显微镜悬臂探针及其制作方法，原子力显微镜悬臂探针包括：探针悬臂，探针针尖以及温敏结构。所述探针悬臂上形成有压敏结构；所述探针针尖形成于所述探针悬臂的一端；所述温敏结构形成于所述探针针尖上且延伸至所述探针悬臂上。本发明的原子力显微镜悬臂探针，是一种应用于原子力显微镜的、具备热学测量功能的新型自传感悬臂探针，在原子力显微镜技术上，利用压阻悬臂探针或压容悬臂探针结合热敏电阻或热电偶结构来研究纳米尺度温度分布。
本发明授权原子力显微镜悬臂探针及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种原子力显微镜悬臂探针，其特征在于，包括： 探针悬臂，所述探针悬臂上形成有压敏结构，所述压敏结构包括第三金属引线电极； 探针针尖，形成于所述探针悬臂的一端； 温敏结构，形成于所述探针针尖上且延伸至所述探针悬臂上，所述温敏结构包括第二金属引线电极； 所述探针悬臂上形成有第一金属引线电极，所述第一金属引线电极位于所述压敏结构和所述温敏结构之间且与所述压敏结构和所述温敏结构均不连通设置；所述压敏结构的第三金属引线电极和所述温敏结构的第二金属引线电极之间由所述第一金属引线电极进行信号隔离； 所述压敏结构和所述温敏结构之间形成有绝缘层； 所述绝缘层完全覆盖所述压敏结构。
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