东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司李细柳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司申请的专利一种磁控溅射设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116837334B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310740994.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射设备是由李细柳;朱正尧设计研发完成，并于2023-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁控溅射设备；包括溅射组件和偏压组件；溅射组件设置有两个，两个溅射组件相对设置，两个溅射组件的一侧设置偏压组件；溅射组件连接负极电源，偏压组件连接正极电源，偏压组件用于将溅射组件产生的溅射离子排斥到基材上。在溅射组件在进行溅射时，会同时具有溅射离子、溅射分子团和电子。相对设置的溅射组件将其产生的溅射离子、溅射分子团和电子向中间区域溅射，偏压组件将溅射离子排斥到基材上，将电子吸引到偏压组件上，溅射分子团留在两个溅射组件之间的区域内。由此即可只将溅射离子轰击到基材上，而避免溅射分子团和电子轰击到基材上，确保镀膜的均匀性，提高镀膜质量，减少基材温度升高的幅度。
本发明授权一种磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备，其特征在于，包括溅射组件和偏压组件，所述溅射组件和偏压组件设置在壳体内；所述溅射组件设置有两个，两个所述溅射组件相对设置，两个所述溅射组件的一侧设置所述偏压组件；所述溅射组件连接负极电源，所述偏压组件连接正极电源，所述偏压组件用于将所述溅射组件产生的溅射离子排斥到基材上； 所述溅射组件包括有阳极件、溅射绝缘件、磁性件和靶材，所述阳极件围设在所述溅射绝缘件、磁性件和靶材的外围，所述溅射绝缘件、磁性件和靶材在所述阳极件内从外向内依次设置，所述磁性件连接负极电源，所述阳极件连接正极电源； 所述偏压组件与所述基材平行，所述靶材垂直于所述偏压组件和基材。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇长安新民路189号8号楼103室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号