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江苏南大光电材料股份有限公司范光华获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏南大光电材料股份有限公司申请的专利一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117247043B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311239541.5,技术领域涉及:B01D3/14;该发明授权一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统是由范光华;李思忖;杨敏;蒋寅斌;龚楼设计研发完成,并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统。所述提纯系统至少包括精馏塔,所述精馏塔中精馏柱从下到上依次包括不锈钢θ环填料工段、石英填料工段、铝丝编织θ环填料工段、石英填料工段,其中铝制工段与粗四氯化钛反应,生成三氯化钛,三氯化钛与难去除的杂质反应,提高杂质化合物沸点,大大提高了产物的纯度;所述提纯方法包括将原料粗四氯化钛经过所述提纯系统精馏得到半导体级超高纯四氯化钛。本发明中经过各工段协同作用一次精馏得到半导体级超高纯四氯化钛,工艺简单,损耗少,易推广;产物纯度达到99.9999999%,能够满足集成电路的制作要求。

本发明授权一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法,其特征在于,包括:以粗四氯化钛作为原料,将所述原料进行精馏后得到超高纯四氯化钛; 所述精馏包括将所述原料在精馏塔中进行精馏;所述精馏塔中,精馏柱从下到上依次连接设置的A、B、C、D四个工段;其中,A为316L不锈钢θ环填料工段、B为石英填料工段、C为铝丝编织θ环填料工段、D为石英填料工段;A、B、C、D分别各占所述精馏柱的高度比例为15-25%、25-35%、2-5%、35-48%; 所述铝丝编织θ环填料工段能够与原料反应在所述铝丝编织θ环填料工段表面生成三氯化钛; 所述石英填料工段的石英填料为空心柱状且侧壁上有孔,所述孔沿着所述石英填料轴向每列间隔为d,其中d为所述孔的直径;所述孔的半径为所述石英填料半径的112-18; 所述精馏塔在组装时通入氮气排出水分; 在所述精馏的过程中保持大气压强,所述精馏塔顶温度在130-136℃,全回流2-4h; 在所述精馏的过程中,取10-20%作为前馏分,前馏分回流比为10:1-15:1;取40-50%作为中馏分,所述中馏分的回流比为3:1-5:1; 在进行提纯前,将所述316L不锈钢θ环填料工段先通过8%-12%氢氧化钠溶液超声清洗20-40min,用纯水冲洗至中性,再经过8-10%硝酸超声清洗5-10min进行表面处理; 所述超高纯四氯化钛为纯度≥99.9999999%的半导体级的四氯化钛; 所述原料的纯度大于等于99.9%。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏南大光电材料股份有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦平胜路67号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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