买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种晶圆加载状态检测装置及抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117381656B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311596860.1，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种晶圆加载状态检测装置及抛光装置是由刘宜霖;尹影;庞浩;樊成攀设计研发完成，并于2023-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加载状态检测装置及抛光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及集成电路芯片制造领域，公开了一种晶圆加载状态检测装置及抛光装置，晶圆加载状态检测装置包括：依次连接的控制系统、自电容触摸传感器、弹性装置及绝缘触摸板；绝缘触摸板的另一端与气囊的第一表面接触，气囊的第二表面用于加载晶圆；当晶圆未加载在气囊的第二表面或晶圆加载状态异常时，气囊的第一表面基于气压向绝缘触摸板的第二表面的方向凸起，推动绝缘触摸板，当自电容触摸传感器判断绝缘触摸板与自电容触摸传感器发生触摸时向控制系统发送加载状态异常信号。本发明通过判断自电容触摸传感器是否与绝缘触摸板接触，从而判断晶圆的加载状态，该检测方法受装置气密性及精度影响小，检测结果准确率高。

本发明授权一种晶圆加载状态检测装置及抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加载状态检测装置，其特征在于，包括：自电容触摸传感器、弹性装置及绝缘触摸板，其中， 自电容触摸传感器，其第一表面与控制系统的输入端连接，其第二表面与所述弹性装置的第一端连接； 弹性装置，其第二端与所述绝缘触摸板的第一表面连接； 绝缘触摸板，其第二表面与气囊的第一表面接触； 气囊，其第二表面用于加载晶圆，通过将气囊抽真空后，使得所述晶圆加载在气囊的第二表面上； 当所述晶圆未加载在所述气囊的第二表面或所述晶圆加载状态异常时，所述气囊的第一表面基于气压向所述绝缘触摸板的第二表面的方向凸起，推动所述绝缘触摸板使所述弹性装置收缩后，所述绝缘触摸板的第一表面与所述自电容触摸传感器的第二表面接触，所述自电容触摸传感器判断所述绝缘触摸板与所述自电容触摸传感器发生触摸，并向所述控制系统发送加载状态异常信号； 所述自电容触摸传感器包括：电容振荡模块、比较模块及输出模块，其中， 电容振荡模块，其输入端与外接电源连接，其输出端与所述比较模块的输入端连接，其第一端为所述自电容触摸传感器的第二表面，其基于外接电源的电压及电流，通过其内部的采样电容采集电路中的电信号并输出采样电容振荡频率、通过其内部的触摸电容输出触摸电容振荡频率，所述触摸电容基于所述绝缘触摸板与所述电容振荡模块的第一端的接触状态改变自身容值后，所述电容振荡模块调整所述触摸电容振荡频率的大小； 比较模块，其输出端与所述输出模块的输入端连接，其用于计算所述采样电容振荡频率与所述触摸电容振荡频率的频率比值后，将所述频率比值与预设值进行比对； 输出模块，其输出端与所述控制系统的输入端连接； 当所述晶圆正常加载在所述气囊的第二表面时，所述绝缘触摸板不与所述电容振荡模块的第一端接触，所述电容振荡模块的触摸电容的容值不变，当所述比较模块判断所述频率比值等于预设值时，所述输出模块向所述控制系统输出加载状态正常信号； 当晶圆未加载在气囊的第二表面或加载状态异常时，所述绝缘触摸板与所述电容振荡模块的第一端接触，所述电容振荡模块的触摸电容的容值升高，当所述比较模块判断所述频率比值不等于预设值时，所述输出模块向所述控制系统输出加载状态异常信号； 所述自电容触摸传感器，还包括： 触摸电极，其第一表面与所述自电容触摸传感器的第二表面连接，其第二表面与所述弹性装置的第一端连接，所述电容振荡模块基于所述绝缘触摸板与所述触摸电极的接触状态改变触摸电容的容值后，调整所述触摸电容振荡频率的大小，维持所述采样电容振荡频率的大小不变； 所述电容振荡模块包括：采样电容振荡模块及触摸电容振荡模块，其中， 采样电容振荡模块，其输入端与外接电源连接，其输出端与所述比较模块的输入端连接，其基于外接电源的电压及电流输出采样电容振荡频率； 触摸电容振荡模块，其输入端与外接电源连接，其输出端与所述比较模块的输入端连接，其第一端与所述触摸电极的第一表面连接，其基于外接电源的电压及外接电源电流输出触摸电容振荡频率，其基于所述绝缘触摸板与所述触摸电极的接触状态改变容值后，调整所述触摸电容振荡频率的大小； 所述比较模块计算获得所述采样电容振荡频率与所述触摸电容振荡频率的频率比值后，将所述比值与所述预设值进行比对； 当所述比较模块判断所述频率比值等于所述预设值时，所述输出模块向所述控制系统输出加载状态正常信号； 当所述比较模块判断所述频率比值不等于所述预设值时，所述输出模块向所述控制系统输出加载状态异常信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。