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龙图腾网获悉上欧科技(湖州)有限公司;苏州波渺微测科技有限公司申请的专利一种晶圆片光刻胶图像获取装置及缺陷检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118010748B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410042813.0，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆片光刻胶图像获取装置及缺陷检测方法是由李青岩;高涵;刘进;陈飞跃;顾溢杰;龚海;陈俊秀设计研发完成，并于2024-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆片光刻胶图像获取装置及缺陷检测方法在说明书摘要公布了：一种晶圆片光刻胶图像获取装置及缺陷检测方法，涉及半导体集成电路制造领域。本发明是为了解决现有晶圆片光刻胶缺陷检测方法还存在无法实现自动化检测且检测精准性低的问题。本发明包括：利用高亮、高均匀性大尺寸面光源设计晶圆片光刻胶缺陷图像采集装置，利用环形光和面光源形成明暗场照明，获取晶圆片图像；对晶圆片图像进行改进后的傅里叶滤波，获得增强后的晶圆片图像；对增强后的晶圆片图像通过飞蛾扑火方法优化Otsu算法进行二值化，获得二值化后的晶圆片图像；利用PLIP模型优化sobel算子获得二值化后的晶圆片图像中像素梯度值；并计算晶圆片图像中边缘亚梯度值，并利用边缘检测函数获取晶圆片图像中缺陷轮廓。本发明用于检测晶圆片光刻胶缺陷。

本发明授权一种晶圆片光刻胶图像获取装置及缺陷检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片光刻胶缺陷检测方法，其特征在于所述方法具体过程为： 步骤一、利用晶圆片光刻胶缺陷图像采集装置，获取晶圆片图像f1x1,y1： f1x1,y1＝i1x1,y1×r1x1,y11 其中，x1,y1为晶圆片图像中的像素点坐标，i1x1,y1为入射向量，r1x1,y1为反射向量； 步骤二、对晶圆片图像f1x1,y1进行滤波，获得增强后的晶圆片图像； 步骤三、对增强后的晶圆片图像进行自适应阈值二值化，获得二值化后的晶圆片图像，具体为： 步骤三一、对增强后的晶圆片图像灰度阈值进行剪枝，并获得剪枝后的晶圆片图像灰度阈值集合： 设置灰度阈值集合[t1,t2,…,tm1]，采用最大类间方差法在灰度阈值集合中进行搜索，获得像素数n1k2i2≠0的灰度阈值集合K＝{K0,K1,…,Kk2}，即剪枝后的晶圆片图像灰度阈值集合； 其中，k2+1是灰度阈值集合K中的元素总数； 步骤三二、将剪枝后的晶圆片图像灰度阈值集合作为飞蛾，构建飞蛾种群 利用火焰记录目标飞蛾的最佳位置，火焰集合为 采用飞蛾扑火算法更新飞蛾位置，从而获得最佳飞蛾种群K’1； 其中，n2是种群数量，d是变量维度，是第n2个飞蛾种群，是第n2个火焰，最佳阈值t1为权重最大的飞蛾； 飞蛾通过以下方式更新位置： 其中，D1i为第i3个飞蛾的位置与第j’1个火焰的位置之间的距离，b4为与螺旋形状相关的常量，t2*为随机数，取值区间为[-1,1]，i3∈[1,n2]，K1i3是第i3个飞蛾的位置，i3∈[1,n2]，ξ是权重因子，是第j’1个火焰的位置，ξmin为最小权重，取值范围为[0.3,0.4]，ξmax为最大权重，取值范围为[0.5,0.7]，k3为权重参数，i4当前飞蛾根据适应度值排序后的次序，NP为所有飞蛾的数目，T2为最大迭代次数，t3'为当前迭代次数； 火焰数量通过以下方式更新： 其中，firenunber为火焰的数量，N2为最大火焰数量，round为四舍五入函数； 步骤三三、基于类间方差法利用最佳飞蛾种群K’1，获得真实最佳灰度阈值，从而获得二值化后的图像； 步骤四、基于参数化对数图像处理模型PLIP模型的八方向Sobel梯度算子获得二值化后的晶圆片图像中边缘像素梯度值； 步骤五、基于改进的非极大值抑制方法利用晶圆片图像中边缘梯度值获取晶圆片图像中缺陷轮廓。

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